[实用新型]移动磁极式扫描溅射源

权利要求书

1.一种移动磁极式扫描溅射源，包括：溅射源安装座；设置在所述溅射源安装座上的用于承托靶材的靶材承托板；设置在所述靶材承托板与所述靶材相对一侧并用于在所述靶材表面产生水平磁场的磁极装置以及设置在所述溅射源安装座上的传动装置，其特征在于：所述传动装置传动所述磁极装置在与所述靶材平行的平面内移动。

2.根据权利要求1所述的移动磁极式扫描溅射源，其特征在于：所述传动装置包括：用于支撑并导向所述磁极装置的导轨、驱动电机以及用于连接所述驱动电机的转轴和所述磁极装置的传动机构。

3.根据权利要求2所述的移动磁极式扫描溅射源，其特征在于：所述传动机构为滚珠丝杠。

4.根据权利要求2所述的移动磁极式扫描溅射源，其特征在于：所述驱动电机设置在所述溅射源安装座外部，所述驱动电机通过磁流体密封装置连接到所述传动机构。

5.根据权利要求2所述的移动磁极式扫描溅射源，其特征在于：所述溅射源进一步包括设置在所述溅射源安装座上的对所述磁极装置的移动位置进行感应的限位开关，所述传动装置进一步包括响应所述限位开关的感应信号以适当方式为所述驱动电机供电的驱动控制电源。

6.根据权利要求1所述的移动磁极式扫描溅射源，其特征在于：所述磁极装置上设置有布气装置。

7.根据权利要求6所述的移动磁极式扫描溅射源，其特征在于：所述布气装置通过柔性布气管与气源连接。

8.根据权利要求1所述的移动磁极式扫描溅射源，其特征在于：所述靶材承托板内设置有冷却通道，所述溅射源进一步包括设置在所述溅射源安装座端部的冷液输送装置。

9.根据权利要求1所述的移动磁极式扫描溅射源，其特征在于：所述靶材承托板在朝向所述磁极装置的侧面上设置有绝缘垫。