[实用新型]电子器件制造室

说明书

技术领域

本实用新型总的来说涉及平板显示器和/或电子器件制造，尤其涉及电子器件制造室。

背景技术

随着平板显示器中使用的基板尺寸加大，用于制造更大平板显示器的电子器件制造室的尺寸大小(例如，处理和/或传送室)也必须加大。但是，由于室的整体尺寸和/或重量，制造和运输这种室的困难也随着室大小而增加。因此，存在对改善用于制造大平板显示器的电子器件制造室的需要，以及对改善运输这种室的方法的需要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于运输的电子器件制造室。

按照某些方面来说，本实用新型提供了一种非多边形的电子器件制造室，包括多个室部件，所述多个室部件的形状为装在一起形成非多边形的所述电子器件制造室。每个室部件都具有符合地面和/或空中运输规定的尺寸。但是，非多边形的所述电子器件制造室的整体尺寸不符合地面和/或空中运输规定。

按照某些方面来说，本实用新型提供了一种电子器件制造室，包括：(1)第一室部件，其横截面形状为用两个弦切割的一部分椭圆，因而包括两个曲线部分、第一直线部分和第二直线部分；(2)第二室部件，其横截面形状为用一个弦切割的一部分椭圆，因而包括一个曲线部分和第三直线部分；以及(3)第三室部件，其横截面形状为用一个弦切割的一部分椭圆，因而包括一个曲线部分和第四直线部分。这些室部件适合装在一起形成椭圆筒。

按照某些方面来说，本实用新型提供了一种电子器件制造室，包括：(1)第一室部件；(2)适合连接到第一室部件的第二室部件；以及(3)适合连接到第一室部件的第三室部件。第一室部件包括其形状由两个曲线部分、第一直线部分和第二直线部分形成的顶部。第二室部件包括其形状由一个曲线部分和一个直线部分形成的顶部。第三室部件包括其形状由一个曲线部分和一个直线部分形成的顶部。

第一室部件的第一直线部分的长度大致等于第二室部件的直线部分，第一室部件的第二直线部分的长度大致等于第三室部件的直线部分。当第二和第三室部件连接到第一室部件时，第一室部件的两个曲线部分、第二室部件的曲线部分以及第三室部件的曲线部分形成椭圆。

关于上述的技术方案，电子器件制造室可以被拆卸成多个室部件，所述多个室部件符合地面和/或空中运输标准的规定。因此，可以容易地运输所述电子器件制造室。

通过以下的详细说明、附加的权利要求和附图，将更完全显现本实用新型的其它特点和方面。

附图说明

图1是根据本实用新型某些实施例的第一示例性多部件电子器件制造室的俯视图；

图2A是根据本实用新型某些实施例图1中第一示例性多部件电子器件制造室的分解等轴测视图；

图2B是图2A的第一室在安装时的等轴测视图；

图2C是图2A的第一室的俯视图；

图2D是图2A的第一室的侧视图；

图3是根据本实用新型某些实施例的第二示例性多部件电子器件制造室的等轴测视图；

图4A是根据本实用新型某些实施例图3中第二示例性多部件电子器件制造室的分解等轴测视图；

图4B是图4A的第二室在安装时的等轴测视图；

图4C是图4A的第二室的俯视图；

图4D是图4A的第二室的侧视图；

图5是解释本实用新型某些方法实施例的流程图。

具体实施方式

图1是根据本实用新型某些实施例的第一示例性多部件电子器件制造室100的俯视图。参考图1，多部件电子器件制造室100是在电子器件制造过程中运输基板的传送室。传送室100在电子器件制造过程中连接到一个或多个处理室和/或加载锁(load lock)103。传送室100可以包括在电子器件制造过程中在处理室和/或加载锁103之间运输基板的末端执行器(end effector)(未示出)。示例性的基板包括例如玻璃板、聚合物基板、半导体晶片、掩模、标线片等等。

根据本实用新型的某些实施例，传送室100可以包括连接起来的多个部件。更具体而言，传送室100可以包括连接到第三部件113(例如中心部件)的第一部件109(例如第一侧部件)和第二部件111(例如第二侧部件)。第一部件109和第二部件111都可以通过O环(没有单独示出)连接到第三部件113。第一部件109和第二部件111都可以用固定装置固定到第三部件113，例如螺丝、螺栓等等。尽管图1的多部件电子器件制造室100包括三个部件，但是多部件电子器件制造室可以包括更多或更少的部件(例如2、4、5、6等等)。