[实用新型]离子注入机用的电动机软启动及运行装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及电力电子技术和电磁兼容技术，特别涉及离子注入机用的电动机软启动及运行装置。

背景技术

现有半导体集成电路制造技术中，离子注入机是必不可少的工艺设备。在离子注入机中供配电分为三个区域，即：地电位区、200KV电位区和270KV电位区，实践中要求这三个区域的供电必须相互隔离开。在过去的离子注入机中200KV电位区域的供电采用高压隔离变压器供电，但高压隔离变压器体积过于庞大，且笨重、成本高、绝缘性能难以保障。

为了解决现有技术中高压隔离变压器存在的缺陷，目前提出一种在离子注入机中采用电动机-发电机机组来取代体积庞大的高压隔离变压器的技术解决方案，采用电动机将市电电力转化为动能，再利用绝缘轴传动动能，实现高低电位绝缘，最后采用发电机将动能转化为电力。整套装置成本低，可靠性高，安装调试简单，从而有效地克服了现有离子注入机中存在的高压隔离问题。

发明内容

本实用新型的目的在于为目前在离子注入机中使用的电动机-发电机机组的电动机，提供一种软启动及运行装置，以减小电动机启动时的启动电流和电磁干扰。

为了实现上述目的，本实用新型离子注入机用的电动机软启动及运行装置设置在电源和电动机绕组之间，它包括电机启动器和双结构电机启动器，二者并联配置。电机启动器的两端分别与电源和电动机绕组的一端连接，双结构电机启动器的两端分别与电源和电动机绕组的另一端连接，其进一步包括三角形继电器和星形继电器，三角形继电器的两端分别与电源和电动机绕组的另一端连接，星形继电器的一端连接到电动机绕组与三角形继电器之间，另一端连接到公共端。

所述的电机启动器进一步包括主断路器、交流接触器和过载保护器，主断路器的两端分别连接电源和交流接触器，交流接触器的另一端连接到过载保护器，过载保护器的另一端连接到电动机绕组。

在电机启动器中，过载保护器的主触点两端分别串联交流接触器的相应主触点和电动机绕组的相关端口，主断路器的两端分别串联相电压和交流接触器的相应主触点另一侧。

在双结构电机启动器中，三角形继电器的主触点分别并联星形继电器的主触点，并联后连接到电动机绕组的相关端口。

电机启动常开按键与电机停止常闭按键串联并与交流接触器的常闭辅助触点并联，交流接触器线包与延时继电器线包并联，分别与两个线包并联的是串联起来的星形继电器线包、三角形继电器的常闭辅助触点及延时继电器的常闭触点和串联起来的三角形继电器线包、星形继电器的常闭辅助触点及延时继电器的常开触点。

电动机启动时，在控制下电机启动器和星形继电器同时闭合，而三角形继电器断开，电动机在此低压状态下运行预定延迟时间后，自动切换为电机启动器和三角形继电器同时闭合，而星形继电器断开，此时电动机进入正常运行状态。

所述的预定延时间约为5秒钟。

与现有技术相比，本实用新型的离子注入机用的电动机软启动及运行装置的电路结构简单、可靠，元件少，能有效地防止大电流冲击现象的产生，使离子注入机用的电动机实现软启动并正常运行。

下面结合附图和较佳实施例对本实用新型的优点和其它特点作进一步描述。

附图说明

图1是本实用新型离子注入机用的电动机软启动及运行装置的星形(Y)启动结构示意图；

图2是本实用新型离子注入机用的电动机软启动及运行装置的三角形(Δ)运行结构示意图；

图3是本实用新型离子注入机用的电动机软启动及运行装置的主回路示意图；

图4是图3所示电动机软启动及运行装置主回路的主要控制电路示意图。

具体实施方式

图1和图2分别表示本实用新型离子注入机用的电动机软启动及运行装置的星形启动结构和三角形运行结构示意图。离子注入机用的电动机软启动及运行装置设置在电源1(A、B、C)和电动机绕组2之间，它包括电机启动器3和双结构电机启动器Δ/Y，电机启动器3的两端分别与电源1(A、B、C)和电动机绕组2的一端连接，双结构电机启动器Δ/Y包括三角形继电器2M和星形继电器S，三角形继电器2M的两端分别与电源1和电动机绕组2的另一端连接，星形继电器S的一端连接到电动机绕组2与三角形继电器2M之间，另一端连接到公共端口COM。