[实用新型]基于缩放通道结构的大气压放电冷等离子体发生器及阵列

权利要求书

1.基于缩放通道结构的大气压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述发生器是基于平板型缩放通道结构的平板型大气压放电冷等离子体发生器，含有：

接有射频电源的一对电极，由上、下两块平板构成，该电极中间有支撑用的绝缘体；

平板型缩放通道结构，形成于所述上、下两块平板之间，所述结构由同进气口相连的压缩部、喉部、扩展部依次贯通而成。

2.根据权利要求1所述的基于缩放通道结构的大气压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述平板型缩放通道位于所述发生器的进气口处或出气口处中的任何一处。

3.基于缩放通道结构的大气压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述发生器是基于回转型缩放通道结构的同轴型大气压放电冷等离子体发生器，含有：

内电极，接射频电源；

绝缘支架，外套于所述内电极；

外电极，外套于所述绝缘支架并接地，该外电极侧向或轴向开有进气口；

回转型缩放通道，由连接到形成于所述内、外电极之间通道的压缩部、喉部及扩展部依次贯通而成。

4.根据权利要求3所述的基于缩放通道结构的大气压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述的回转型缩放通道结构位于所述发生器的出口处，所述位于内、外电极间的通道是放电区。

5.根据权利要求3所述的基于缩放通道结构的大气压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述的回转型缩放通道位于放电区，所述内电极的端部插入到压缩部内，在内电极和压缩部的内壁间也形成供放电用的通道，而所述内、外电极之间的放电区形成连接于所述压缩部处的进气口的进气通道。

6.基于缩放通道结构的大气压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述发生器是基于该发生器进气口处的回转型缩放通道结构的平板型大气压放电冷等离子体发生器，含有：

回转型缩放通道，由连接等离子工作气体进气口的压缩部、喉部及扩展部依次贯通形成；

平板电极，由内电极和外电极构成，在内、外电极的相对应位置开有进气口；该平板电极的内、外电极依次固定在所述扩展部出口的位置。

7.基于缩放通道结构的大气压放电冷等离子体发生器，其特征在于，所述发生器是基于该发生器进口处的方形缩放通道结构的平板型大气压放电冷等离子体发生器，含有：

方形缩放通道，由连接冷等离子体工作气体进气口的压缩部、喉部以及扩展部依次贯通形成；

平板电极，由内电极和外电极构成，该平板电极中的内、外电极依次固定在所述扩展部的出口处，在内、外电极的相应位置开有进气口。

8.根据权利要求1、或3、或6、或7中的任何一项权利要求中的所述的基于缩放通道结构的大气压放电冷等离子体发生器组成的发生器阵列，其特征在于含有：

筒型外壳，在壳体上开有射频电源连接口、冷等离子体工作气体进气口以及冷却介质的进出口；

发生器阵列，由单个的所述基于缩放通道结构的大气压放电冷等离子体发生器组成，各发生器的电极的一端并联后接射频电源，另一端在并联后接地；在各个发生器上开有侧向的所述冷等离子体工作气体的进气口或轴向的相应进气口；所述的发生器阵列整体内装于筒型外壳中。