[实用新型]一次成形制造圆光栅的装置

说明书

                           技术领域

本实用新型涉及一种制造圆光栅的装置，特别涉及一种一次成形光栅线制造圆光栅的装置。

                           技术背景

众所周知光盘用量巨大，通常制造光栅的装置大多是长、圆刻线机。以光刻法为例制造圆光栅大致如下：

机械刀刻单缝在涂有不透光颜色层的玻璃薄片上，用“刀”刻划出一条透光单缝，单缝宽度取决于圆光栅栅线宽度和单缝制造工艺等因素，一般为5-10um。光学光刻扇形，将单缝安装在圆刻线机支架(也叫刀桥)的小船上，调整单缝与圆刻线机间的中心距离(即圆光栅栅线半径)和偏心，将涂有感光材料的玻璃基片放置在圆刻线机工作台托盘上(在透光单缝的正下方)，在支架上方(在透光单缝的正上方)放置一个光源曝光装置，转动圆刻线机和启动光源曝光装置后，就能将单缝的像投影到感光基片上，形成一组刻线扇形，360°与扇形角大小之比为整数m。倍增法光刻园光栅，将单缝换成扇形片，调整距离和偏心，把涂有感光材料的圆光栅毛坯放置在圆刻线机托盘上，启动光源曝光装置和转动圆刻线机，使扇形的一组栅线的像投影到圆光栅毛坯载体上，圆刻线机旋转360°，曝光m次数后，在圆光栅毛坯载体上就得到一整圈的光栅线；显影、去胶、烘干后即为一块完整的圆光栅。这种传统的制造圆光栅的装置，其制造的栅线质量不理想，即栅线边缘发毛、陡度小、直线性差，不能一次成形。这些将会直接影响光栅的质量；而且制造工序多、复杂、周期长。

还有的用激光直写装置取代圆刻线机，即用激光直写装置对涂有感光材料的光栅毛坯载体扫描曝光，该过程虽然由计算机自动控制完成，但是，仍然不能一次成形，需由位移传感器、驱动装置、光线扫描头等反复调整六者形成闭环时才能完成，且栅线质量仍不很理想，所用设备较多，制造成本较高。

                           实用新型内容

本实用新型的目的就在于克服现有技术的不足，提供一种制作简便、精确度高、成本较低可一次成形制造圆光栅的装置。

为达到本实用新型目的，本实用新型采用的技术方案：一次成形制造圆光栅的装置，是由激光器、曝光时间控制器、扩束镜、准直镜、利用透明光学材料制成的光学线性元件、载体架构成，且依次安装在底座上；由激光器发出的激光，经曝光时间控制器控制、扩束镜扩束，调整准直镜的前后位置使之产生的平行光；在平行光轴线上安装光学线性元件，使输出的所有光均通过光学线性元件的中心，在光学线性元件的后焦面形成干涉图样的位置安装载体架。

为使本装置有更好的通用性，满足不同规格光栅光路调整的需要，本实用新型所有器件都是通过可调节架安装在底座上

本实用新型所述的光学线性元件的材料为透明光学塑料，如有机玻璃，树脂等光学材料。

本实用新型与现有技术相比，有如下优点：采用本实用新型的装置制造激光园光栅，可以一次成形整圈的圆光栅线，它是用激光直接照射光学线性元件，在光学线性元件的后焦面形成干涉图样的载体架上，插入涂有感光材料的记录载体，激光射在记录载体上，便可得到整圈的圆光栅线，即一次成形整圈的圆光栅线，每块圆光栅的制造过程仅需2-4分钟。与现有技术中“机械刀刻单缝、光学光刻扇形和倍增法光刻圆光栅”以及“用激光直写装置对涂有感光材料的光栅毛坯扫描曝光，由计算机自动控制制造圆光栅线”相比，其制作简单、便携，其光路调整方便，光路调好后，对一种规格的光栅可长期使用，便于批量生产，大大简化了制造圆光栅的工序，时间大为缩短，省时省工，提高了工效和可靠性，大大降低了制造成本，且栅线整齐、直线性好、精确度高。

                           附图说明

图1本实用新型的整体结构示意图，其中：激光器1，曝光时间控制器2，扩束镜3，准直镜4，光学线性元件5，载体架6，底座7；图2线性元件结构示意图；图3为激光直接照射线性元件制造圆光栅的光路示意图，其中：激光器1，曝光时间控制器2，扩束镜3，准直镜4，光学线性元件5，记录载体6x。

                      具体实施方式