[实用新型]压电陶瓷微位移驱动器及其面形干涉仪无效
| 申请号： | 200620033895.X | 申请日： | 2006-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN2906548Y | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 牟仲财;陈果;王涛 | 申请（专利权）人： | 成都太科光电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01M11/00 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 610041四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 陶瓷 位移 驱动器 及其 干涉仪 | ||
【说明书】：
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