[实用新型]一种测量PN结电流的测试装置无效
| 申请号： | 200620040258.5 | 申请日： | 2006-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN2938404Y | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 苏鼎杰;钱蔚宏;朱辉;赵芳芳 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 pn 电流 测试 装置 | ||
【权利要求书】：
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