[实用新型]光集成芯片的自动测试系统无效
| 申请号： | 200620043007.2 | 申请日： | 2006-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN200996890Y | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 陈谷红;施进浩 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十一研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200233*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 集成 芯片 自动 测试 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种光集成芯片自动测试系统，包括多路光纤探头，激光信号发生器，多功能光信号测试仪，机械手，高精度伺服电机，可编程逻辑控制器，以及微计算机，其特征在于：由带多路光纤探头的光学测试组件，带可编程逻辑控制器的运动控制组件和带微计算机的人机交互式用户界面，通讯和数据处理组件构成。
2.按权利要求1所述的自动测试系统，其特征在于：带V型定位槽的多路光纤光源探头由二台伺服电机构成的x、y双轴平面移动定位系统控制。
3.按权利要求1所述的自动测试系统，其特征在于：带V型定位槽的多路光纤信号探头由二台伺服电机构成的x、y双轴平面移动定位系统控制。
4.按权利要求1所述的自动测试系统，其特征在于：带真空吸盘的机械手由三台伺服电机构成的x、y、z三轴立体移动定位系统控制。
5.按权利要求1所述的自动测试系统，其特征在于：由标准RS232/RS485串行口、PROFIBUS总线和GPIB接口构成各功能组件之间的通讯系统。
6.按权利要求1所述的自动测试系统，其特征在于：由人机交互式用户界面窗口操作系统软件、通讯系统软件和数据处理软件构成光集成芯片自动测试的微计算机软件控制系统。
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