[实用新型]用于低温等离子过氧化氢消毒杀菌设备的射频电源

权利要求书

1、一种用于低温等离子过氧化氢消毒杀菌设备的射频电源，包括：

一整流电路，连接输入端；

一EMC滤波电路，连接整流电路；

其特征在于，

一PFC电路，连接EMC滤波电路，用于功率因数控制，包括PFC直流单元；

一H桥逆变电路，连接PFC电路，用于逆变，包括直流输出单元、基于PWM调制技术的可控输出的H逆变单元和连接所述H逆变单元的触发驱动电路单元；

一输出及取样电路，连接H桥逆变电路，用于输出及取样，包括输出信号检测单元、变压器耦合单元、反射信号检测单元和采样处理电路单元；

其中，采样处理电路单元分别连接输出信号检测单元、变压器耦合单元、反射信号检测单元；输出信号检测单元包括输出电流测量环节和发射输出功率测量环节；反射信号检测单元包括反射功率测量环节；

一计算机检测控制电路，用于对整个电源的检测控制，分别连接H桥逆变电路的触发驱动电路单元和输出及取样电路的采样处理电路单元。

2、根据权利要求1所述的用于低温等离子过氧化氢消毒杀菌设备的射频电源，其特征在于，所述输出信号检测单元包括输出电流测量环节和发射输出功率测量环节。

3、根据权利要求1所述的用于低温等离子过氧化氢消毒杀菌设备的射频电源，其特征在于，所述反射信号检测单元包括反射功率测量环节。

4、根据权利要求1所述的用于低温等离子过氧化氢消毒杀菌设备的射频电源，其特征在于，所述电源的输出频率在5KHz-100KHz之间。

5、根据权利要求1或4所述的用于低温等离子过氧化氢消毒杀菌设备的射频电源，其特征在于，所述电源的输出频率是50KHz。