[实用新型]一种光纤连接处功率自动检测装置

说明书

技术领域

本实用新型属于功率检测领域，尤其涉及光刻系统中光纤连接处的激光功率自动检测装置。

背景技术

在现有的光刻机产品线上，激光从激光发生器模块射出，经过光纤耦合进入光纤连接盘(FCP)，再经过耦合进入光纤直至光学处理模块。而进入FCP的激光功率对于光刻机的生产应用、制造和维修都是非常重要的考量参数。如果要进行激光功率检测，则需要拆下光纤，用激光功率计测量，等测量完毕用酒精棉球擦洗干净后，再安装回原处。很明显用这种测量方法会导致以下不良结果：1)污染光纤头；2)导致不必要的激光损耗；3)人为的操作增加了测量过程的不可预测性，因而引入了测量结果的不一致性；4)光刻机整体性能下滑。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题在于提供一种光纤连接处功率自动检测装置，以使得光纤功率测量实现自动化。

本实用新型解决技术问题的技术方案如下：

一种光纤连接处功率自动检测装置，其设置在光纤与光纤连接盘连接处，其特征在于，包括Y型激光耦合器和光敏二极管，所述激光耦合器的输入端与光纤输出端相连，激光耦合器输出功率大的一个输出端与光纤连接盘的输入端相连，另一输出端与光敏二极管相连，所述激光耦合器的分束比与光敏二极管的功率放大倍数相适应。

所述激光耦合器的分束比大于97∶3。可以为98∶2或99∶1。

本实用新型的工作原理：由于在激光进入光纤连接盘之前，首先进入一Y型激光耦合器(Coupler)，该耦合器具有较大的分束比，绝大部分的激光能量经过该耦合器的一分支进入光纤连接盘，小部分激光能量经过另一分支进入一高灵敏度的光敏二极管(PhotoDiode)，该光敏二极管测量得的功率放大一定的倍数(由分束比决定)，即得到实际进入FCP的激光功率。应用本实用新型自动检测装置虽然会损失极少的部分激光能量，然而在实际光刻系统中这点损失是可以接受的。

由以上公开的技术方案可知，采用本实用新型检测装置不需拆下光纤即可得到检测结果，避免了人工操作存在的上述缺陷，提高了光刻机整体性能，可以实现光纤功率测量自动化。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图进一步说明本实用新型。

如图1所示，本实用新型光纤连接处功率自动检测装置，其设置在光纤1与光纤连接盘2连接处，包括Y型激光耦合器3和光敏二极管4，所述激光耦合器3的输入端301与光纤1输出端相连，激光耦合器3输出功率大的一个输出端302与光纤连接盘2的输入端相连，另一输出端303与光敏二极管4相连，所述激光耦合器3的分束比与光敏二极管4的功率放大倍数相适应。

如图所示，从激光器模块5出发的激光，经过光纤1，在进入光纤连接处之前，首先进入一Y型激光耦合器3，该耦合器3的分束比较大，比如为99∶1(或98∶2)，99％(或98％)的激光能量经过上述耦合器的一分支302进入光纤连接处，1％(或2％)的激光能量经过另一分支进入高灵敏度的光敏二极管4，该光敏二极管4测量得的功率放大99＝99∶1(或49＝98∶2)倍，即得到实际进入光纤连接处的激光功率。

该Y型激光耦合器3和光敏二极管4还可以和前置放大功能模块、ADC模块形成一集成器件，利用该集成器件，计算机能实时监测进入光纤连接处的激光功率；从而可以实现自动化；避免了人工操作，提高光刻机整体性能。

该Y型激光耦合器3和光敏二极管4还可以集成于同一集成器件6上，也可以放在光纤连接盘内部，而光敏二极管的显示部分放在光纤连接盘2的一个窗口上，以便读数。

利用本实用新型，可以实时监测进入光纤连接盘2的激光光强；而且光敏二极管读取的光强值可以经过ADC模块数字化，便于通过计算机实现自动化操作。

以上对本实用新型的实施方式作了详细说明。在具体的实施过程中可对本实用新型进行适当的改进，以适应具体情况的具体需要。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。