[实用新型]大面积并联高密度感应耦合等离子体源无效
| 申请号： | 200620069635.8 | 申请日： | 2006-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN2907173Y | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 辛煜;宁兆元 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 马明渡 |
| 地址： | 21500*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大面积 并联 高密度 感应 耦合 等离子体 | ||
【说明书】：
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