[实用新型]双阻隔无油超净真空系统装置无效
申请号: | 200620072726.7 | 申请日: | 2006-04-25 |
公开(公告)号: | CN2931847Y | 公开(公告)日: | 2007-08-08 |
发明(设计)人: | 陈荣发;赵毅红 | 申请(专利权)人: | 扬州大学 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14 |
代理公司: | 南京中新达专利代理有限公司 | 代理人: | 孙鸥 |
地址: | 225009*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阻隔 无油超净 真空 系统 装置 | ||
【权利要求书】:
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