[实用新型]石英坩埚熔制机的埚体无效
| 申请号： | 200620077814.6 | 申请日： | 2006-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN200982819Y | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 池金陵 | 申请（专利权）人： | 扬州华尔光电子材料有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/10 | 分类号： | F27B14/10 |
| 代理公司： | 扬州市锦江专利事务所 | 代理人： | 江平 |
| 地址： | 2256*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英 坩埚 熔制机 | ||
【权利要求书】：
1、石英坩埚熔制机的埚体，包括金属埚体，在金属埚体的侧壁和底部分部通孔，各通孔与埚体外的抽气装置连接，其特征在于在各通孔内设置过滤件，在各通孔与埚体外的抽气装置之间连接通气道，各通气道连接在金属埚体的外侧壁上。
2、根据权利要求1所述石英坩埚熔制机的埚体，其特征在于所述通孔靠近金属埚体中心的孔径大、远离金属埚体中心的孔径小。
3、根据权利要求2所述石英坩埚熔制机的埚体，其特征在于所述通孔为台阶孔。
4、根据权利要求1或2或3所述石英坩埚熔制机的埚体，其特征在于埚体还设有金属外壳，所述金属埚体及道气道设置在金属外壳内。
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