[实用新型]匀胶显影机用机械手装置无效
| 申请号： | 200620090740.X | 申请日： | 2006-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN2901376Y | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 程金胜;于海川;张军;侯宪华;孟祥军 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源先进半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影 机械手 装置 | ||
【说明书】：
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