[实用新型]一种用于二氧化碳的激光的复合层反射镜无效
申请号: | 200620098969.8 | 申请日: | 2006-09-14 |
公开(公告)号: | CN201004527Y | 公开(公告)日: | 2008-01-09 |
发明(设计)人: | 陈清明 | 申请(专利权)人: | 武汉市富泰来光电器件有限公司 |
主分类号: | H01S3/08 | 分类号: | H01S3/08;H01S3/034 |
代理公司: | 武汉开元专利代理有限责任公司 | 代理人: | 王和平 |
地址: | 430074湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 二氧化碳 激光 复合 反射 | ||
1、一种用于二氧化碳的激光的反射镜,它包括单晶硅反射镜基体、金属钼薄膜、低折射率的硬介质膜、高折射率的硬介质膜组成,其特征在于:在单晶硅反射镜基体上先布置一层金属钼薄膜,再依次布置低折射率的硬介质膜和高折射率的硬介质膜,低折射率、高折射率硬介质膜每两层为一组复合交替布置。
2、按权利要求1所述的一种用于二氧化碳的激光的复合层反射镜,其特征在于:布置于单晶硅反射镜基体上的金属钼薄膜,其厚度在0.1μm到 10μm之间。
3、按权利要求1所述的一种用于二氧化碳的激光的复合层反射镜,其特征在于:布置于金属钼薄膜上的低折射率、高折射率的硬介质膜的光学厚度为二氧化碳激光波长的四分之一。
4、按权利要求1所述的一种用于二氧化碳的激光的复合层反射镜,其特征在于:布置于金属薄膜上的低折射率、高折射率硬介质膜每两层为一组复合交替布置4层、或6层、或8层或10层。
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