[实用新型]单晶硅炉控制装置无效
| 申请号： | 200620117926.X | 申请日： | 2006-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN2913393Y | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 张志新;王军;安桂正 | 申请（专利权）人： | 北京京运通真空设备厂 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 闫立德 |
| 地址： | 101113北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅 控制 装置 | ||
【说明书】：
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