[实用新型]一种检测传送机异常运行的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及检测传送机的技术领域，且特别涉及一种检测传送机异常运行的装置。

背景技术

在半导体工艺中，用于常压化学气相沉积(ATMOSPHERICPRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION以下简称APCVD)的机台WJ1500或WJ1000，这两种机台为直线(Linear Technology)传递的沉积方式，由四支喷嘴将气体吹至芯片表面以达到沉积目的，因为常压及线性传递沉积，因此气流的平衡度对沉积的均匀度极为重要，因此测试气流的平衡度时，需芯片传至喷嘴下方后，停止传送带，然后开气体沉积，以测试抽风及喷嘴吹出气体的左右平衡，通过测试是否可达生产的工艺需求，但因此若在生产中发生传送带因电机或传送机构异常导致控制电源跳脱，则机台无法检测并立即将气体关闭，导致芯片停于喷嘴下方，而沉积仍未停止，芯片因局部厚度过高而报废。此设计在检测当传送带的控制电源发生异常跳脱时，可立即触发互锁装置(Facilities Interlock)，将沉积气体关闭，避免芯片局部区域过厚而直接报废，本设计旨在解决WJ-1500/1000在生产中存在的此风险，以降低产品报废率。

发明内容

为了克服目前传送机异常运行导致电源跳闸的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种检测传送机异常运行的装置。

一种检测传送机异常运行的装置，包括程序逻辑控制器(Programmable Logic Controller以下简称PLC)，互锁装置(FacilitiesInterlock)，跳闸开关CB10，继电器CR9，继电器CR9一端与跳闸开关CB10相连，另一端与程序逻辑控制器输出单元1(Programmable LogicController Output Module以下简称PLC Output Module)相连，不经过任何互锁装置(Facilities Interlock)使得PLC及时启动系统关闭气源，其特点是，还包括继电器CR，通过在跳闸开关CB10之后，继电器CR9之前并入该继电器CR，将跳闸开关CB10的信号通过设备的互锁装置(Facilities Interlock)(该信号在本系统内是闲置未使用)送入程序逻辑控制器的输入单元2(Programmable Logic Controller Input Module简称PLC Input Module)，及时启动系统关闭气源，同时系统通过继电器CR9将程序逻辑控制器的输出单元1的传送马达的信号引入传送带控制回路(Belt Control Loop)，达到控制皮带开或关的功能。

上述检测传送机异常运行的装置与机台WJ1500或WJ1000电连接。

本实用新型的有益效果是，在检测到传送带的控制电源发生异常跳脱时，可立即触发互锁装置(Facilities Interlock)，将沉积气体关闭，避免芯片局部区域过厚而直接报废，本设计旨在解决WJ1500或WJ1000传送机在生产中存在的此风险，以降低产品报废率。

下面结合附图，对本实用新型的具体实施作进一步的详细说明。对于所属技术领域的技术人员而言，从对本实用新型的详细说明中，本实用新型的上述和其它目的、特征和优点将显而易见。

附图说明

图1是传统的程序逻辑控制器输出单元及传送电源电路图。

图2是传统的传送马达控制器电路图。

图3是本实用新型改进后的传送马达控制器电路及程序逻辑控制器输出单元和输入单元电路图。

具体实施方式

参照图1，该图传统的程序逻辑控制器输出单元1及传送电源电路图。在传统的传送电源电路中安置继电器CR9，对传送电源电路进行保护。