[实用新型]橡胶瓶塞镀膜用反应室无效
申请号: | 200620138011.7 | 申请日: | 2006-09-30 |
公开(公告)号: | CN200961147Y | 公开(公告)日: | 2007-10-17 |
发明(设计)人: | 徐志淮 | 申请(专利权)人: | 徐志淮 |
主分类号: | C23C16/00 | 分类号: | C23C16/00;C23C16/448 |
代理公司: | 北京华夏博通专利事务所 | 代理人: | 刘俊 |
地址: | 215331江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 橡胶 瓶塞 镀膜 反应 | ||
1.一种橡胶瓶塞镀膜用反应室,包括壳体,其特征在于该橡胶瓶塞镀膜用反应室的壳体为立式圆筒形结构,壳体的侧壁开设门体,壳体上设有与反应室内腔相通的排气系统。
2.根据权利要求1所述的橡胶瓶塞镀膜用反应室,其特征在于所述立式圆筒形结构的反应室壳体的直径为0.6~3.0米,高度为0.8~3.0米。
3.根据权利要求1所述的橡胶瓶塞镀膜用反应室,其特征在于所述门体为半圆筒体或部分圆筒体结构,门体和所述壳体的密闭扣合部位装配有密封法兰。
4.根据权利要求3所述的橡胶瓶塞镀膜用反应室,其特征在于所述门体为一侧与壳体通过枢轴连接的平推门、上推门或下推门。
5.根据权利要求3所述的橡胶瓶塞镀膜用反应室,其特征在于所述门体为平开、推拉于一体的平开推拉门。
6.根据权利要求1所述的橡胶瓶塞镀膜用反应室,其特征在于所述的排气系统为粗、细双路抽气系统,粗、细抽气管上分别设有启闭阀门用以实现大流导或限制流导方式抽气,所述反应室内腔设置抽气导流板,抽气导流板在反应室内纵向设置,其上分布有通孔。
7.根据权利要求1所述的橡胶瓶塞镀膜用反应室,其特征在于所述壳体和门体上设有观察窗,所述壳体上还设有一个或多个压力测量口。
8.根据权利要求1所述的橡胶瓶塞镀膜用反应室,其特征在于所述壳体的顶部为圆弧面突起结构,所述壳体侧壁设有侧壁加热系统,壳体的侧壁和顶部设置有加强筋。
9.根据权利要求1所述的橡胶瓶塞镀膜用反应室,其特征在于所述壳体上开设有一个或多个反应室进气口,其中至少有一个进气口设置在反应室壳体的1/2高度以上或1/2高度。
10.根据权利要求9所述的橡胶瓶塞镀膜用反应室,其特征在于所述反应室内的进气口及出气口处分别设置纵向的进气导流板和出气导流板,导流板上分布有通孔使气流分布均匀,进气导流板上部的通孔孔径小大于其下部的通孔孔径。出气导流板中部的通孔孔径小于其上、下部的通孔孔径。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的