[实用新型]无时间延迟的连续式真空制程设备

权利要求书

1.一种无时间延迟的连续式真空制程设备，包含一真空制程室，其特征是：包含一前初级真空室及一后初级真空室分别连接该真空制程室的工件进口和工件出口；一前真空过渡室及一后真空过渡室分别连接该前初级真空室及后初级真空室，其中该前真空过渡室、前初级真空室、真空制程室、后初级真空室、及后真空过渡室都安装有一抽真空装置及安装有一贯通其间的工件传动装置；设置于该前真空过渡室的入口的第一密封移动门装置；设置于该前真空过渡室和该前初级真空室之间的第二密封移动门装置；设置于该前初级真空室和该真空制程室之间的第三密封移动门装置；设置于该真空制程室和该后初级真空室之间的第四密封移动门装置；设置于该后初级真空室和该后真空过渡室之间的第五密封移动门装置；设置于该后真空过渡室的出口的第六密封移动门装置；及一控制装置其用于控制该工件传动装置输送工件的速度及该第一至第六密封移动门装置的开启及关闭，使得工件为该工件传动装置连续的输送通过该前真空过渡室、前初级真空室、真空制程室、后初级真空室、及后真空过渡室，及使该第一至第六密封移动门装置在工件到达时被开启及工件通过后被关闭，且相邻的两密封移动门装置未同时开启。

2.如权利要求1所述的设备，其中该真空制程室内配备有溅镀装置或蒸镀装置。

3.如权利要求2所述的设备，其中该真空制程室在该溅镀装置或蒸镀装置的上游进一步配备有用于除去工件上杂气的前处理装置，该前处理装置包含红外线装置、电浆装置或离子枪装置。

4.如权利要求1、2或3所述的设备，其中该真空制程室配备有检测装置。

5.如权利要求4所述的设备，其中该检测装置为扫描式电子显微镜或光谱仪。

6.如权利要求1、2或3所述的设备，其具有多于一个的真空制程室，该多个真空制程室介于该前初级真空室和后初级真空室之间且互相串联。

7.如权利要求6所述的设备，其中该多个真空制程室的每一个同时或单独的配备有溅镀装置、蒸镀装置、或前处理装置，但溅镀装置和蒸镀装置不同时配备于一个真空制程室。

8.如权利要求7所述的设备，其中该多个真空制程室的至少一个进一步配备有检测装置。

9.如权利要求8所述的设备，其中该检测装置为扫描式电子显微镜或光谱仪。