[实用新型]大幅面激光标刻太阳能电池的装置

权利要求书

1.一种大幅面激光标刻太阳能电池的装置，由电脑控制激光发生器和载物工作台，包括工作电源，冷却系统，其特征还包括电脑程序控制幅面为400mm～600mm激光振镜扫描系统；由电脑控制系统控制X-Y轴交联载物平台，在该平台上放置有待标刻的基片，所说基片的标刻区域是以X、Y轴向相邻的n×m个等份，该标刻区域范围为400mm～600mm×400mm～600mm。

2.根据权利要求1所述的大幅面激光标刻太阳能电池的装置，其特征在于所说激光振镜扫描系统装在固定架Z轴悬臂上。

3.根据权利要求1所述的大幅面激光标刻太阳能电池的装置，其特征在于所说的X-Y轴交联平台上的基片幅面为1000mm×2000mmm，振镜头标刻范围设定为500mm×500mm，其中n＝4，m＝2，标刻区域为8等份。

4.根据权利要求1所述的大幅面激光标刻太阳能电池的装置，其特征是所说待标刻的基片是非晶硅薄膜太阳能电池，激光振镜扫描系统幅面为400mm～600mm。

5.根据权利要求1或4所述的大幅面激光标刻太阳能电池的装置，其特征在于所说基片的标刻区域是非晶硅薄膜太阳能电池的前电极图形。

6.根据权利要求5所述的大幅面激光标刻太阳能电池的装置，其特征在于所说的非晶硅薄膜太阳能电池的前电极图形，该电极相邻图形间绝缘隔离线宽度为0.1～0.4mm，绝缘电阻大于2MΩ。

7.根据权利要求4所述的大幅面激光标刻太阳能电池的装置，其特在于所说待标刻的非晶硅薄膜太阳能电池是刻除非晶硅薄膜层，非晶硅图形和前电极图形隔离线边缘间距为0.1～0.3mm。