[实用新型]芯片清洗机

说明书

一、技术领域

本实用新型涉及一种自动在清洗槽中取放芯片的芯片清洗机。

二、背景技术

芯片清冼是每一个芯片制备过程中所需要的必经程序，其目的在于使芯片表面的污染物尽可能地降低，使得元件获得良好而稳定的特性，以及使制程具有良好再现性。但是，现有的芯片清洗机，多数必须借助人工直接在清洗槽中取放芯片，使清洗过程中人力闲置，而在取放芯片时又无法进行清洗工作，不仅耗费人力成本且清洗效率差；另，有将清洗槽设置为掀盖式，则容易造成芯片在取放过程中受到落尘污染问题。

三、实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有产品存在的上述缺点，而提供一种芯片清洗机，其使清洗芯片的工作与取放芯片的工作不会相互冲突，从而可以节省人力成本，提高清洗效率，并能够避免芯片在取放过程中受到落尘污染，使用效果理想。

本实用新型的目的是由以下技术方案实现的。

本实用新型芯片清洗机，其特征在于，其在一机架设置有：一清洗槽，侧边开设有入料口及出料口，并在该入料口及出料口外缘都设置有封口单元，另在内部设有清洗单元；

一转盘，安装在清洗槽内底缘，且借助旋转动力驱动，上盘面设置有清洗载具；

一入料装置，设置在清洗槽的入料口处，在入料滑台设置有待命载具，且相对该待命载具设置有推料缸，该推料缸设置在推料滑台；

一出料装置，设置在清洗槽的出料口处，在出料滑台设置有衔接载具。

前述的芯片清洗机，其中出料装置相对其衔接载具设置有拨料缸，该拨料缸设置在拨料滑台。

前述的芯片清洗机，其中封口单元包括夹层框以及配合在夹层框内升降的封口板，该夹层框与封口板接触的两内面，分别设有密封胶圈，两密封胶圈其中之一为充气式，该封口板由升降缸控制升降。

本实用新型芯片清洗机的有益效果是，一机架设置有：一清洗槽，侧边开设有入料口及出料口，该入料口及出料口外缘都设置有封口单元，另在内部设有清洗单元；一转盘，安装在清洗槽内底缘，且由一旋转动力予以驱动，上盘面设置有清洗载具；一入料装置，设置在清洗槽的入料口处，而在一入料滑台设置有待命载具，且相对该待命载具设置有推料缸，并令该推料缸设置在一推料滑台；一出料装置，设置在清洗槽的出料口处，在一出料滑台设置有街接载具。本实用新型可在进行芯片清洗工作的同时，将待清洗的芯片载盘置入待命载具，且自衔接载具取走已清洗的芯片载盘，使清洗芯片的工作与取放芯片的工作不会相互冲突；又，清洗槽入料口及出料口开设在侧边，可避免芯片在取放过程中受到落尘的污染。

四、附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型待命载具置入芯片载盘示意图。

图3为本实用新型将芯片载盘由待命载具推入清洗载具示意图。

图4A至图4F为本实用新型第一实施例动作状态示意图。

图5A至图5D为本实用新型第二实拖例动作状态示意图。

图中主要标号说明：10机架、20清洗槽、21入料口、22出料口、23封口单元、231夹层框、232封口板、233密封胶圈、234升降缸、24清洗单元、30转盘、31旋转动力、32清洗载具、40芯片载盘、50入料装置、51入料滑台、52待命载具、53推料缸、54推料滑台、60出料装置、61出料滑台、62衔接载具、63拨料缸、64拨料滑台。

五、具体实施方式

参阅图1、图2、图3所示，本实用新型在一机架10设置有：一清洗槽20，侧边开设有入料口21及出料口22，并在该入料口21及出料口22外缘都设置有封口单元23，另在内部设有诸如喷洗悬臂的清洗单元24；该封口单元23由一夹层框231，搭配一可在夹层框231内升降的封口板232构成，且该夹层框231与封口板232接触的两内面，分别设有密封胶圈233，并令两密封胶圈233其中之一为充气式，封口板232由一升降缸234控制升降；

一转盘30，安装在该清洗槽20内底缘，且由一诸如马达的旋转动力31予以驱动，上盘面设置有供芯片载盘40插置定位的清洗载具32；

一入料装置50，设置在清洗槽20的入料口21处，而在一入料滑台51设置有待命载具52，供芯片载盘40先行插置待命，且相对该待命载具52设置有推料缸53，并令推料缸53设置在一推料滑台54；

一出料装置60，设置在清洗槽20的出料口22处，而在一出料滑台61设置有衔接载具62，且选择性相对该衔接载具62设置有拨料缸63，并令拨料缸63设置在一拨料滑台64。