[实用新型]MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置无效
| 申请号： | 200620158419.0 | 申请日： | 2006-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN200993629Y | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 尚德广;贾冠华;李立森;王瑞杰;孙国芹;邓静;刘豪 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G01N3/22 | 分类号： | G01N3/22;G01N3/08;G01M19/00 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 沈波 |
| 地址： | 100022*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 拉伸 扭转 疲劳 特性 实验 装置 | ||
1、MEMS拉扭疲劳特性实验装置，其特征在于：疲劳试样(11)位于圆心处，疲劳试样(11)的上端面支撑有四个沿圆周方向分布的扇形悬置平板，即第一悬置平板(40)、第二悬置平板(44)、第三悬置平板(42)、第四悬置平板(301)，四个悬置平板与疲劳试样(11)为一个整体并通过疲劳试样(11)下面的底电极与接地电极(1)相连而接地；其中的三个悬置平板(40、44、42)的下面都设置有与之对应的底电极(41、45、43)构成三个平行板电容器(4、13、8)，第一平行板电容器(4)、第二平行板电容器(13)的底电极(41、45)通过拉伸驱动电极(14)接交流电，构成一对平行板电容驱动器，使疲劳试验(11)受到拉伸应力；第三平行板电容(8)的底电极(43)通过拉伸检测电极(9)与振幅检测电路相连构成平行板电容传感器，用于检测疲劳试样(11)拉伸的幅度；在第三悬置平板(42)、第四悬置平板(301)的沿半径方向的两个侧面分别设置有悬置梳齿(304、306、302、308)，四个悬置梳齿分别与四个固定梳齿(400、404、402、406)配合构成四个梳状电容(5、9、2、15)，其中，第一固定梳齿(404)、第二固定梳齿(402)通过扭转驱动电极(10)接交流电，使得第一梳状电容(2)、第二梳状电容(9)构成一对梳状电容驱动器，使疲劳试验(11)受到扭转应力；第三梳状电容(5)、第四梳状电容(15)构成一对梳状电容传感器，通过与第三固定梳齿(400)、第四固定梳齿(406)相连的扭转检测电极(6)接振幅检测电路，用于检测疲劳试验(11)的扭转程度。
2、根据权利要求1所述的MEMS拉扭疲劳特性实验装置，其特征在于：所述的试验试验(11)由上下两个半径不同的圆柱体组成，两个圆柱体沿着轴向连接，连接处的台阶(71)相当于传统疲劳试样缺口的作用。
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