[实用新型]一种加工晶体生长所使用籽晶的装置无效
申请号: | 200620160773.7 | 申请日: | 2006-11-23 |
公开(公告)号: | CN200991839Y | 公开(公告)日: | 2007-12-19 |
发明(设计)人: | 王建利;周传新;李仕福;牛沈军 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06;B24B9/16;C30B35/00 |
代理公司: | 信息产业部电子专利中心 | 代理人: | 梁军 |
地址: | 300220天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 加工 晶体生长 使用 籽晶 装置 | ||
1、一种加工晶体生长所使用籽晶的装置,其特征是:包括左侧系统、右侧系统和冷却系统,所述左侧系统包括砂轮驱动电机(6)、左连接件(131)、砂轮(7)、左导轨、左丝杠、左手柄(111)和左侧底座(151);所述右侧系统包括套管(3)、卡头(4)、右连接件(132)、套管驱动电机(1)、右导轨(2)、右丝杠、右手柄(112)和右侧底座(152),所述冷却系统包括冷却管(12)、水箱(10)和集水盘(9);
在所述左侧系统中,砂轮驱动电机(6)通过轴承、左连接件(131)与砂轮(7)相连;左丝杠在左手柄(111)的后面,左连接件(131)设置在左导轨上并通过左丝杠与左手柄(111)相连,左连接件(131)受左手柄(111)驱动的左丝杠的旋转而在左导轨上前后移动;
在所述右侧系统中,卡头(4)装在套管(3)中;套管(3)与右连接件(132)固定连接;套管驱动电机(1)通过轴承与右连接件(132)相连;右丝杠处于右连接件(132)和右手柄(112)之间,通过两个相互垂直的斜齿轮与右手柄(112)相连,将右手柄(112)的转动转化为水平方向放置的右丝杠的转动;右连接件(132)设置在右导轨(2)上并通过右丝杠与右手柄(112)相连,右连接件(132)受右手柄(112)驱动的右丝杠的旋转而在右导轨(2)上左右移动;
在所述冷却系统中,冷却管(12)设置在砂轮(7)上方,水箱(10)设置在工作平台(16)下方,集水盘(9)通过管道与水箱(10)相连。
2、如权利要求1所述的加工晶体生长所使用籽晶的装置,其特征在于还包括位于套管(3)上方的修整器(14),用于将砂轮(7)表面磨平。
3、如权利要求1或2所述的加工晶体生长所使用籽晶的装置,其特征在于还包括设置在左丝杠外面的弹簧;所述弹簧两头固定,不与左丝杠接触,左丝杠从弹簧中间穿过,弹簧的预紧功能用以提高砂轮(7)的垂直移动精度。
4、如权利要求1或2所述的加工晶体生长所使用籽晶的装置,其特征在于还包括:
滑轨罗盘,固定在右侧底座上,通过轴承座与右导轨(2)相连,用于顺时针或逆时针小角度调节籽晶的方位;
砂轮罗盘,固定在左侧底座上,通过轴承座与左导轨相连,用于顺时针或逆时针小角度调节砂轮(7)的方位。
5、如权利要求3所述的加工晶体生长所使用籽晶的装置,其特征在于还包括:
滑轨罗盘,固定在右侧底座上,通过轴承座与右导轨(2)相连,用于顺时针或逆时针小角度调节籽晶的方位;
砂轮罗盘,固定在左侧底座上,通过轴承座与左导轨相连,用于顺时针或逆时针小角度调节砂轮(7)的方位。
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