[实用新型]改进的晶圆快速加热机台的传动机构无效
| 申请号： | 200620165762.8 | 申请日： | 2006-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN200993210Y | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 林清万;吕邦超 | 申请（专利权）人： | 志圣工业股份有限公司 |
| 主分类号： | F16H35/00 | 分类号： | F16H35/00;F16H1/06 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 郑永康 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改进 快速 加热 机台 传动 机构 | ||
【权利要求书】：
1、一种改进的晶圆快速加热机台的传动机构，其特征在于，主要包括一个旋转动件、一承载盘及二个磁性流体轴封，其中：
该承载盘的顶部朝内凹陷一预设深度的环形容置空间，容置空间内容设有一旋转动件及二个轴封，其中第一轴封设置于该旋转动件的外侧，该第一轴封的内侧恰与旋转动件相配合，外侧则与承载盘相连接，而设置在旋转动件内侧的第二轴封，外侧与旋转动件相配合，而内侧则与承载盘相连接。
2、根据权利要求1所述的改进的晶圆快速加热机台的传动机构，其特征在于所述二个轴封与承载盘连结的方式，是以黏胶的密封固定方式。
3、根据权利要求1所述的改进的晶圆快速加热机台的传动机构，其特征在于所述旋转动件的材质为不锈钢SUS4导磁系列。
4、根据权利要求1所述的改进的晶圆快速加热机台的传动机构，其特征在于所述承载盘的材质为不锈钢SUS304非导磁材料。
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