[实用新型]一种可以节约时间的匀胶显影设备改进结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体晶片加工技术，具体地说是一种可以节约时间的匀胶显影设备改进结构。

背景技术

现有技术中，匀胶显影设备(TRACK)一般都有匀胶单元、显影单元、热盘单元、冷盘单元、预处理增粘单元、盒站、盒站机器人、工艺机器人、对中单元等组成。参见图4-2，其工艺步骤为：盒站机器人将晶片从盒站的晶片盒中取出送到对中单元，工艺机器人将晶片送到预处理增粘单元，然后将晶片送到冷盘单元，工艺机器人再将晶片取出送到匀胶单元，再取出送到热盘单元，然后工艺机器人将晶片取出送到冷盘单元，再取出送回对中单元、最后盒站机器人将晶片从对中单元送回盒站的晶片盒中，完成一个匀胶显影设备一般的工艺加工过程。匀胶显影设备的效率可以通过完成上述工艺加工过程的时间做判断，时间短则效率高，时间长则效率低，整个时间由工艺加工时间，晶片在各单元之间传送时间组成，工艺加工时间由工艺决定，一般不能随意减少，传送时间可以通过提高传送速度和减少传送次数减少时间，但传送次数一般都由加工工艺决定的。一般的加工工艺中，工艺机器人都会将晶片送到热盘单元后再由工艺机器人取出送到冷盘单元，之后工艺机器人再从冷盘单元取出晶片送到其他单元，导致加工时间较长。

随着科技进步，晶片的加工工艺越来越复杂，工艺加工过程中送到热盘、冷盘中的次数也在增加，这就会增加对工艺机器人的使用次数，工作效率就会降低。一般可以通过增加工艺机器人的数量或增加整台匀胶显影设备来提高晶片的工艺加工效率。但工艺机器人和匀胶显影设备都比较昂贵，提高效率的同时成本增加很多。进口的在晶片加工中使用的工艺机器人都在20到30万元人民币，进口的匀胶显影设备在500万到800万元人民币，同档次的国内产品也要200～500万元人民币。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种可以节约时间的匀胶显影设备改进结构。

为了实现上述目的，本实用新型技术方案是：在热盘单元和冷盘单元之间加设传送机构和夹持机构。所述夹持机构由夹持器和夹持气缸，夹持器的工作前端有弧形槽，用于夹持晶片，夹持气缸用以控制夹持器的开闭，夹持气缸与传送机构中传送座安装在一起；传送机构由底板、传送座、传送气缸和导轨，所述传送座位于导轨的滑块上，与夹持气缸相连，导轨与底板固接。

本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型在热盘与冷盘之间加设夹持和传送机构，负责将送到热盘加热后的晶片送到冷盘冷却，而不用工艺机器人进行传送，从而可以减少工艺机器人的使用次数，减少整体的工艺传送时间，提高了匀胶显影设备的工作效率。现有技术中采用工艺机器人传送完成一次从热盘到冷盘的传递需要10秒，采用本实用新型则工艺传送时间就会减少10秒，按每台匀胶显影设备使用2套本实用新型，共可以节约20秒，若一个晶片完成工艺流程需要240秒，则可以节约8.3％的时间。

2.由于本实用新型在结构上加入了夹持和传送机构，不仅结构简单，成本低，更重要的是为加工工艺节约的宝贵时间。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图。

图中：1-匀胶单元、2-显影单元、3-热盘单元、4-冷盘单元、5-预处理增粘单元、6-盒站、7-盒站机器人、8-工艺机器人、9-对中单元、10-传送机构、11-夹持机构，12-晶片盒、15-顶针。

图2-1是工艺机器人将晶片从送到预处理增粘单元取出经冷盘单元、匀胶单元，送到热盘单元的工艺情况。

图2-2是由热盘与冷盘单元之间的夹持机构夹紧晶片在热盘单元对晶片加热的工艺情况。

图2-3是由热盘与冷盘单元之间的夹持机构夹紧晶片在传送机构的带动下将晶片送到冷盘单元的工艺情况。

图2-4是夹持机构在冷盘单元松开晶片的工艺情况。

图2-5是传送机构再将夹持机构送到热盘单元的工艺情况。

图3是本实用新型在热盘与冷盘之间加设夹持和传送机构的改进结构示意图。

图中：101-传送座、102-传送气缸、103-导轨、104底板、111-夹持器、112-夹持气缸。

图4-1是采用本实用新型的加工工艺流程图。

图4-2是采用现有技术匀胶显影设备加工工艺流程图。

图5是本实用新型在热盘与冷盘之间加设夹持和传送机构的匀胶显影设备的结构总图。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本实用新型作详细描述。