[实用新型]薄膜材料电/热/力耦合作用下性能测试系统

权利要求书

1.一种薄膜材料电/热/力耦合作用下性能的测试系统，其特征在于整个电/热/力耦合性能测试系统由三部分组成：

(1)样品加电部分，由电源、信号发生器和功率放大器组成，电源通过由信号发生器指挥的功率放大器与样品相连，负责给样品施加电流；

(2)与样品连接部分，由四个微动机械手和四个金属探针组成，金属探针被固定在微动机械手上，通过控制机械手的移动，使金属探针的针尖接触到待测样品的两端，两个微动机械手通过导线与功率放大器的两个端口相连；

(3)测试与分析部分，包括示波器以及与示波器相连的计算机，两个微动机械手通过导线与示波器的两个端口分别相连，负责进行数据分析与反馈控制，计算机将分析结果通过示波器传递给信号发生器，然后给样品施加修正后的电流。

2.按照权利要求1所述的薄膜材料电/热/力耦合作用下性能的测试系统，其特征在于：还包括实时观察部分，包括对样品进行实时观察与摄录像用的扫描电镜或高倍光学显微镜。

3.按照权利要求1所述的薄膜材料电/热/力耦合作用下性能的测试系统，其特征在于：金属探针的直径为1～5μm。