[实用新型]基于垂直位移扫描的非接触式表面形貌测量仪无效
| 申请号： | 200620200063.2 | 申请日： | 2006-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN2867287Y | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 杨旭东;陈育荣;李屹;谢铁邦 | 申请（专利权）人： | 贵州大学 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G01B21/30;G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 | 代理人： | 郭防 |
| 地址： | 550003贵州*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 垂直 位移 扫描 接触 表面 形貌 测量仪 | ||
【权利要求书】：
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