[发明专利]Ⅲ族氮化物结晶的制造方法以及制造装置有效
| 申请号： | 200680000230.1 | 申请日： | 2006-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN1954101A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 岩田浩和;皿山正二;福田实;高桥哲也;高桥彰 | 申请（专利权）人： | 株式会社理光 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B9/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化物 结晶 制造 方法 以及 装置 | ||
【说明书】：
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