[发明专利]工件移送方法和静电吸盘装置以及基板粘贴方法

说明书

技术领域

本发明涉及包括在例如液晶显示器(LCD)或等离子体显示器 (PDP)或柔性显示器等平板显示器的制造过程中的把CF玻璃或TFT 玻璃等玻璃制基板或由PES(Poly-Ether-Sulphone；聚醚砜)等塑料薄 膜构成的合成树脂基板可自由拆装地保持并粘贴的基板粘贴机的基板 组装装置、输送这样的基板等绝缘体、导电体或半导体晶片等工件(被 处理体)的基板输送装置中所使用的工件移送方法和静电吸盘装置、 使用它的基板粘贴方法。

具体而言，涉及用作为保持板的静电吸盘吸附保持工件，放开保 持的工件并安放到规定位置的工件移送方法；由保持板和吸附保持工 件的静电吸盘构成的静电吸盘装置；以及使用它的基板粘贴方法。

背景技术

以往，作为把两个基板重叠的基板粘贴机，加压板是由在内部内 置有电极板的绝缘性部件构成的静电吸盘，将作为工件的玻璃基板保 持在该加压板上，把上基板和下基板在XY方向上位置对准后，通过 把真空室减压，在真空室内变为所需的真空度，来解除加压板的静电 吸附功能，使上基板落到下基板上以使上下基板重叠，然后使加压板 下降，把上下基板加压，把两者的间隔粘贴为规定的间隙(例如，参 照专利文献1)。

此外，与基于静电吸盘(静电吸附部件)来保持解除上基板(上 侧基板)联动地，从该上基板的背面一侧喷出气体，在上方保持板的 静电吸附面和上基板的背面之间强制注入该气体，从而破坏这些静电 吸附面和基板面的紧贴状态以把两者剥离，来强制衰减并消除两者间 的静电吸引力，并且用注入的气体的压力对下基板(下侧基板)强制 施加落下力亦即落下的加速度，据此，该上基板在瞬时被压接到下基 板上，并以由静电吸附部件保持着的状态，使上基板的姿态不变地向 下基板上移动并压接，将上下基板密封并重叠起来(例如，参照专利 文献2)。

专利文献1：特开2001-166272号公报(第6页，图8)

专利文献2：日本专利第3721378号公报(第8页，图1)

可是，在这样的现有工件移送方法和静电吸盘装置中，在专利文 献1的情况下，通过解除静电吸附功能，使工件(上基板)在真空中 自由落下，但是即使切断电源，静电吸盘的基板吸附力也不立刻消失 而是继续作用，所以会因此后的基板吸附力的下降而发生解除不均匀， 静电吸附面和工件的界面开始是局部剥离，最后工件全面剥离并自由 落下。

据此，工件(上基板)一边以最后剥离的地方为中心旋转移动， 一边自由落下，所以在上下基板彼此的位置对准上产生误差，并且在 自由落下的压力下，密封变得不完全，存在容易混入空气的问题。

另外，工件(上基板)从对于静电吸附面先开始剥离的地方开始， 由于重力而局部下垂并发生倾斜，而且该倾斜容易随状况而变化，所 以不可能在自由落下中修正，并且在落到下基板上后也难以修正，存 在无法实现规定的平行度的问题。

可是，近年在液晶显示器和等离子体显示器的基板大型化的倾向 下，开始制造一边长超过1000mm的产品，但是基板即使大型化，也 要求与小型的基板同样的平行度。特别是如果基板的一边长超过 1000mm的话，与XY方向的尺寸相比，Z方向的间隔变得极小，所 以虽然理想的是使上下基板在保持完全平行的前提下接近移动，但是 实际上非常困难。

在这样的环境下，如果一边长超过1000mm的大型上基板稍微倾 斜，由于与XY方向的尺寸相比Z方向的间隔极小，所以有可能发生 使预先涂敷在上下基板的相对面的任意一方上的液晶密封用密封材料 (环状粘合剂)或两基板的膜面损伤的问题，存在无法期待正常的粘 贴的问题。

此外，在专利文献2的情况下，从工件(上基板)的背面一侧向 与该工件之间喷射气体来剥离，但是如果是像现有所使用的工件那样 具有0.7～1.1mm的厚度的玻璃基板，其面方向的刚性比较高，所以剥 离用气体容易在面方向上均匀传播，通过该气体，能从静电吸盘可靠 地剥离。

可是近年来，像移动电话或笔记本电脑那样重视轻量化的液晶显 示器的用很途多，在这样的用途中，工件的玻璃表现为约0.5mm以下 的非常薄的厚度，进而在柔性显示器中更加使用了工件为厚度数百μm 的PES(聚醚砜)等塑料薄膜。