[发明专利]用于化学机械抛光的二氧化铈粉末的制备方法及使用该粉末制备化学机械抛光浆料的方法有效
| 申请号： | 200680001015.3 | 申请日： | 2006-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN101039876A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 吴明焕;鲁埈硕;金长烈;金钟泌;曹昇范;高敏镇 | 申请（专利权）人： | LG化学株式会社 |
| 主分类号： | C01F17/00 | 分类号： | C01F17/00 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 朱梅;徐志明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械抛光 氧化 粉末 制备 方法 使用 浆料 | ||
【权利要求书】：
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