[发明专利]掩模夹具的移动机构以及成膜装置

权利要求书

1.一种掩模夹具的移动机构，其能够使配置在形成有机EL元件的基板的前面的掩模相对于所述基板进退，其特征在于，

所述移动机构具备伸缩机构，该伸缩机构能够使保持所述掩模的所述掩模夹具多个阶段地进行移动，

所述伸缩机构包括：

第一伸缩机构，其设置在将所述有机EL元件的膜成膜在所述基板的成膜装置本体上；以及

第二伸缩机构，其被安装在所述第一伸缩机构上，并且卡合所述掩模夹具，

所述第一伸缩机构与所述第二伸缩机构能够相互独立地伸缩。

2.如权利要求1所述的掩模夹具的移动机构，其特征在于，

所述第一伸缩机构、所述第二伸缩机构是气缸或液压缸。

3.一种成膜装置，用于在基板上制造有机EL元件，其特征在于，

包括：

夹头，其与有机材料的供给源相对并保持所述基板；

掩模夹具，其保持形成有所述有机EL元件的图案的掩模；

伸缩机构，其通过所述掩模夹具使所述掩模相对于所述基板多个阶段地进退；以及

旋转机构，其设置在装置本体，使所述夹头、所述掩模夹具和所述伸缩机构在水平方向旋转，

所述伸缩机构包括：

第一伸缩机构，其设置在所述装置本体；以及

第二伸缩机构，其被安装在所述第一伸缩机构上，并且，卡合所述掩模夹具，并能够与所述第一伸缩机构独立地进行伸缩。