[发明专利]薄膜晶体管阵列器件无效

专利信息
申请号: 200680001836.7 申请日: 2006-01-03
公开(公告)号: CN101107704A 公开(公告)日: 2008-01-16
发明(设计)人: F·W·罗尔芬 申请(专利权)人: 皇家飞利浦电子股份有限公司
主分类号: H01L21/84 分类号: H01L21/84;H01L27/12;H01L27/02;H01L29/417;B41J2/14
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 王英
地址: 荷兰艾*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要:
搜索关键词: 薄膜晶体管 阵列 器件
【权利要求书】:

1.一种包括晶体管电路阵列的阵列器件,该晶体管电路阵列包 括至少一行晶体管电路,其中每一个晶体管电路包括并联电连接且设 置在同一衬底上的多个薄膜晶体管,在所述衬底上将所述晶体管设置 成至少两行(201、202、203)晶体管,其中第一和第二行中的所述晶 体管的源极线(30)具有不同的宽度,且所述第一和第二行中的所述 晶体管的漏极线(32)具有不同的宽度,将所有源极(30)连接在一 起并将所有漏极(32)连接在一起,并且其中将源极连接设置到较宽 源极线的端部并将漏极连接设置到较宽漏极线的端部。

2.如权利要求1所述的器件,其中一行(201、202、203)中的 所述晶体管各自具有相同的沟道长度和沟道宽度,所述沟道宽度垂直 于该行方向。

3.如权利要求1或2所述的器件,其中所述第一和第二行晶体 管中的一行(201)具有比所述第一和第二行晶体管中的另一行(202) 更窄的源极和漏极线(30、32)。

4.如权利要求3所述的器件,其中在所述一行(201)中比在所 述另一行(202)中具有更多的晶体管。

5.如权利要求4所述的器件,其中所述一行(201)中的晶体管 数量是所述另一行(202)中的晶体管数量的两倍。

6.如权利要求3、4或5所述的器件,其中所述一行(201)中 的所述晶体管具有第一沟道宽度和第一沟道长度,并且其中所述另一 行(202)中的所述晶体管具有较大的第二沟道宽度以及相同的第一 沟道长度。

7.如权利要求3至 6中任何一项所述的器件,其中所述源极和 漏极连接都位于所述晶体管电路的顶部或底部。

8.如权利要求7所述的器件,其中每一个电路包括M行(201、 202、203)晶体管,第m行具有k×2(m-1)个晶体管。

9.如权利要求8所述的器件,其中M=3、n=1且k=1,从而有 三行(203、202、201)晶体管,分别具有1、2和4个晶体管。

10.如权利要求7所述的器件,其中每一个电路包括2M行晶体 管,顶部M行(40),其中第m行具有k×2(m-1)个晶体管,以及底部 M行(40),其中第m行具有k×2(M-m)个晶体管。

11.如权利要求10所述的器件,其中M=3、n=1且k=1,从而 有顶部三行晶体管,其分别具有1、2和4个晶体管,以及有底部三 行晶体管,其分别具有4、2和1个晶体管。

12.如权利要求10或11所述的器件,其中所述晶体管电路设有 位于所述顶部和底部的源极和漏极连接。

13.如权利要求1或2所述的器件,其中所述第一和第二行晶体 管中的一行的所述晶体管具有比所述第一和第二行晶体管中的另一 行的所述晶体管更宽的源极线和更窄的漏极线。

14.如权利要求13所述的器件,其中在每一行(201、202、203) 中具有相同数量的晶体管。

15.如权利要求14所述的器件,其中每一个晶体管电路包括两 个具有四个晶体管的行。

16.如权利要求13、14或15所述的器件,其中每一行中的所述 晶体管具有相同的沟道宽度和沟道长度。

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