[发明专利]检测传递到负载的RF功率以及该负载的复数阻抗的方法

权利要求书

1.一种检测负载的一种或更多种特性的方法，所述方法包括：

在射频(RF)功率发生器的输出处检测第一信号的一种或更多种特性，其中所述第一信号呈现基频；

以采样频率对所述第一信号的所述一种或更多种特性进行采样，以产生数字采样信号，其中所述采样频率是基于所述第一信号的所述基频的函数确定的；以及

从所述数字采样信号确定负载的一种或更多种特性，其中所述负载与所述RF功率发生器联通。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述第一信号的所述一种或更多种特性包括以下中的一种或更多种：

电压；以及

电流。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述采样频率是基于形式为的函数确定的，

其中n是非负整数，而f₀是所述第一信号的所述基频。

4.如权利要求1所述的方法，其中从所述数字采样信号确定负载的一种或更多种特性的操作包括使用数字信号处理器从所述数字采样信号确定负载的一种或更多种特性。

5.如权利要求1所述的方法，其中负载的所述一种或更多种特性包括以下中的一种或更多种：

所述负载电压在所述基频的幅度；

所述负载电压在所述基频的谐波的幅度；

所述负载电流在所述基频的幅度；

所述负载电流在所述基频的谐波的幅度；

在所述基频，所述负载电压和所述负载电流之间的相角；以及

在所述基频的谐波，所述负载电压和所述负载电流之间的相角。

6.如权利要求1所述的方法，其中负载的所述一种或更多种特性包括以下中的一种或更多种：

在所述基频传递到所述负载的功率；

在所述基频的谐波传递到所述负载的功率；

在所述基频，所述负载处的前向功率；

在所述基频的谐波，所述负载处的前向功率；

在所述基频从所述负载反射的功率；

在所述基频的谐波从所述负载反射的功率；

所述负载阻抗在所述基频的幅值；

所述负载阻抗在所述基频的谐波的幅值；

所述负载阻抗在所述基频的复数形式；以及

所述负载阻抗在所述基频的谐波的复数形式。

7.一种用于确定负载的一种或更多种特性的系统，所述系统包括：

射频(RF)功率发生器；

与所述RF功率发生器联通的负载；

位于所述RF功率发生器的输出处的检测装置；

与所述检测装置联通的模数(A-D)转换器；以及

与所述A-D转换器联通的数字信号处理器(DSP)，

其中所述检测装置检测第一信号的一种或更多种特性，其中所述A-D转换器将所述第一信号的所述一种或更多种特性转换为数字形式，其中所述DSP从所述第一信号的所述一种或更多种特性的所述数字形式确定所述负载的一种或更多种特性。

8.如权利要求7所述的系统，其中所述负载包括等离子体腔。

9.如权利要求7所述的系统，其中所述负载包括气体管。

10.如权利要求7所述的系统，其中所述负载包括电阻性负载。

11.如权利要求7所述的系统，其中所述负载包括一个或更多个电抗性部件。

12.如权利要求7所述的系统，其中所述第一信号呈现基频。

13.如权利要求12所述的系统，其中所述A-D转换器包括采样装置，所述采样装置具有形式为的采样频率，其中n为非负整数，而f₀是所述基频。

14.如权利要求7所述的系统，其中所述负载的所述一种或更多种特性包括以下中的一种或更多种：

所述负载电压在所述基频的幅度；

所述负载电压在所述基频的谐波的幅度；

所述负载电流在所述基频的幅度；

所述负载电流在所述基频的谐波的幅度；

在所述基频，所述负载电压和所述负载电流之间的相角；以及

在所述基频的谐波，所述负载电压和所述负载电流之间的相角。