[发明专利]测定有机物气体浓度的装置和方法

权利要求书

1.一种测定目标氛围气体中有机物气体浓度的装置，用于从处理系统内的目标空间引出目标氛围气体，测定其中有机物气体的浓度，其特征在于，包括：

捕集容器，具有用于导入所述目标氛围气体而与所述目标空间连接的导入口；

排气系统，用于通过排出所述捕集容器内的气体，将所述目标氛围气体引出至所述捕集容器内，并与所述捕集容器连接；

捕集部件，用于通过吸附所述目标氛围气体中的有机物气体得到捕集有机物气体，并收容在所述捕集容器内；

温度调整机构，通过调整所述捕集部件的温度，控制有机物气体的吸附/解吸，包括加热器；

载气供给系统，将用于搬送通过对所述捕集部件进行加热而从所述捕集有机物气体中取出的解吸气体的载气，供给至所述捕集容器中；

浓度测定部，用于测定搬送所述解吸气体的所述载气中的有机物气体的浓度，并与所述捕集容器连接；和

控制部，控制所述装置的动作。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制部进行控制，使得：在得到所述捕集有机物气体之后，通过将所述捕集部件加热到第一温度，取出所述解吸气体，同时，利用所述浓度测定部测定搬送所述解吸气体的所述载气中的有机物气体的浓度。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第一温度设定在60～200℃的范围内，使沸点较低的有机物气体解吸。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制部进行控制，使得：在得到所述捕集有机物气体之后，通过将所述捕集部件加热到第一温度，取出所述第一解吸气体，同时，用所述载气搬送所述第一解吸气体，然后，将所述捕集部件加热到高于所述第一温度的第二温度，取出第二解吸气体，同时，利用所述浓度测定部测定搬送所述第二解吸气体的所述载气中的有机物气体的浓度。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述第一温度设定在60～200℃的范围内，使沸点较低的有机物气体解吸，所述第二温度设定在200～400℃的范围内，使沸点较高的有机物气体解吸。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制部进行控制，使得：通过将所述捕集部件加热到第一温度，得到所述捕集有机物气体，然后，将所述捕集部件加热到高于所述第一温度的第二温度，取出所述解吸气体，同时，利用所述浓度测定部测定搬送所述解吸气体的所述载气中的有机物气体的浓度。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一温度设定在60～200℃的范围内，使得不由所述捕集部件捕集沸点较低的有机物气体，所述第二温度设定在200～400℃的范围内，使沸点较高的有机物气体解吸。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，在连接所述捕集容器与所述浓度测定部的配管和连接所述目标空间与所述捕集容器的配管之一或两者上，配置有用于防止有机物气体液化的加热机构。

9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述导入口可切换地与半导体处理系统的净化室和处理装置的大气搬送室连接，选择其一作为所述目标空间。

10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述目标氛围气体为通过除去有机物气体的过滤器之后的氛围气体，所述控制部具有根据所述浓度测定部的测定结果，判断所述过滤器寿命的寿命判断功能。

11.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述捕集部件具有化学吸附功能和物理吸附功能之一或兼具两种功能。

12.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述温度调整机构还包括为得到所述捕集有机物气体而对所述捕集部件进行冷却的冷却器。

13.如权利要求12所述的装置，其特征在于，所述控制部进行控制，使得通过将所述捕集部件的温度设定在-130～60℃、利用所述捕集部件得到所述捕集有机物气体，所述捕集有机物气体含有有机胺气体。

14.如权利要求13所述的装置，其特征在于，所述控制部进行控制，使得：通过将所述捕集部件加热到60～300℃，取出所述解吸气体，同时，利用所述浓度测定部测定搬送所述解吸气体的所述载气中的有机胺气体的浓度。

15.如权利要求12所述的装置，其特征在于，热电转换元件兼用作所述冷却器和所述加热器。