[发明专利]电路图案检查装置及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种电路图案检查装置及其方法，例如，涉及可以检查形成在玻璃衬底上的梳齿状导电图案是否良好的图案检查装置及其方法。

背景技术

用来检查形成在衬底上的电路图案的方法，在现有技术中，从导电图案的一端供给检查信号，从该导电图案的另外一端检测到有检查信号时，可以确保为导通，被检查电路图案为正常状态，相反地，假如未检测到检查信号时，判断为导电图案为断线状态，此种方法一直使用在实际的电路衬底检查中。

另外，也可采用的方法是提供到被检查导电图案的检查信号，不只确认其正常通过该导电图案，而且将检查探针配置在与被检查导电图案邻接的图案，判断是否从该邻接图案的另外一端也能检测到信号，用来判定被检查导电图案和邻接图案是否有短路(short)状态。

具体而言，方法有(1)在检查对象的导电图案的两端，例如使梢探针直接接触(也称为梢接触方式，其详细内容被记载在例如专利文件1中)，(2)只在检查信号的供给侧使梢探针直接接触，在另外一端通过导电图案和传感器间的电容耦合，以非接触状态检测检查信号(非接触-接触并用方式)，(3)通过被检查导电图案和信号供给探针间的电容耦合供给检查信号，在另外一端通过导电图案和传感器间的电容耦合，检测检查信号，在信号的供给侧和检测侧的双方以非接触状态进行导通检查(非接触方式)等。

专利文件1特开昭62-269075号公报

但是，上述(1)的梢接触方式装置，在作为检查对象的衬底的全部端子设立金属性的梢探针，通过这些探针将电信号送入到导电图案。因此，对于检查信号来说可以获得良好的S/N比(信噪比)是其优点，但是会有检查对象制品本身或其图案损伤的问题，不能使用于高精密的图案。

另外，在上述现有技术的电路图案检查装置和检查方法中，其构成是分别设有：断路传感器，作为检测装置用来检测作为检查对象的导电图案是否是断路状态(图案断线状态)；短路传感器，用来检查与邻接图案的短路状态(short状态)。在此种情况需要分别分析来自这些传感器的检测信号，使分析用的程序和检查装置的构造复杂化。以及因为需要较长的检查时间，而对于检查性能和检查效率的提高产生一定的限制。

另外一方面，在上述(2)、(3)方法中的检测电平低，很难进行精度良好的检查。另外，在现有技术的检查装置中，如图9所示，提供检查信号的供电部101和信号检测用的传感器103，被配置在离开作为检查对象的导电图案上的一端部和另一端部一定的距离。因此，要使由这些供电部和传感器构成的单元小型化会有困难。特别是由于检查对象(例如，液晶显示面板或触摸式面板等)或制品的机种等的不同，其导电图案的长度也不同，所以需要有与其对应的供电部和传感器的配置，必须设置配合每一种检查对象的单元。

另外，如图9所示，在连接图案的一方的梳齿状图案中，在该导电图案没有断路的状态，检测信号转入其它的导电图案时的检测信号电平，和在导电图案有断路部位时的检测信号电平，因为电平差微弱，根据微弱的电平差进行的导电图案断路检测，不能准确而且充分地检查。

即，如图9所示，在一端开放，另外一端被短路棒104短路的梳齿状导电图案120、121等，假设导电图案121的一部分为断线状态(其断线部位以符号110表示)的情况。当从供电部101提供检查信号时，在没有断线的情况，在导电图案流动的信号电流被断路检测传感器103检测到的电平(图10的A)，和因为断线110成为没有电流流动时的电平(图10的B)进行比较时，由图10可以明白，其差很小(例如，降低正常时的10％的电平)。因此，要区别检测信号和噪声会有困难，在检测结果的可靠性方面会产生问题。

发明内容

本发明针对上述问题，目的是提供可以以高精度检测导电图案的断路状态/短路状态的电路图案检查装置及其方法。

另外，本发明的另一目的是提供可以以简易的装置构造检测导电图案的断路状态/短路状态的电路图案检查装置及其方法。

作为用来达成上述目的、解决上述问题的一种装置，其具备例如以下的构成。即，本发明是一种电路图案检查装置，用来检查被配置在衬底的导电图案的状态，其特征在于具备有：信号提供装置，用来将检查信号提供到上述导电图案的一方端部的前端附近；检测装置，被配置在接近于上述信号提供装置，可以检测被提供有上述检查信号的导电图案输出的上述检测信号；识别装置，根据上述检测装置所检测到的检测信号的变化，识别上述导电图案是否良好。