[发明专利]夹具装置及成像装置

说明书

技术领域

本发明涉及夹住在载置台上载置的印刷线路基板等工件的夹具装置，尤其涉及利用基于图像信息所调制的光束对该被夹住的印刷线路板等工件的绘图区域进行曝光、从而形成图像的成像装置。

背景技术

以往，例如作为在印刷线路基板(以下也称为“基板”或“基板材料”)等上形成布线图案的成像装置的激光曝光装置为人所知。在该激光曝光装置中具备载置(装载)作为图像曝光对象的印刷线路基板的载置台部件，并使该载置台部件沿规定的输送路径移动。

具体进行说明，首先，通过从在载置台部件上设有的多个(数个)孔部吸引空气，从而以吸附在该载置台部件上的状态定位载置印刷线路基板。在载置台部件上定位载置，被吸附·保持的载置台部件以规定的速度向副扫描方向移动，在规定的测定位置，通过CCD摄像机对在该印刷线路基板上设置的对位孔(以下称为对准标识)进行摄像。并且，对照由该摄像得到的印刷线路基板的位置，通过对绘图坐标系中的绘图对象区域进行坐标变换，执行对于图像信息的对准处理。

执行对准处理后，载置台部件上的印刷线路基板在规定的曝光位置利用基于图像信息调制且通过多角镜向主扫描方向偏转的激光光束扫描并曝光处理在其上面形成的感光性涂膜。由此，在印刷线路基板上的规定区域(绘图区域)，形成基于图像信息(与布线图案对应)的图像(潜像)。

然后，在载置台部件复位移动到初始位置后，从载置台部件中取出(卸载)形成了图像(潜像)的印刷线路基板，并将取出了印刷线路基板的载置台部件移动到曝光下一个印刷线路基板的工序(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利文献特开2000-338432号公报。

发明内容

但是，在印刷线路基板的厚度在如1.5mm以下比较薄的情况下，虽然能够利用空气的吸引力充分地将该基板吸附·保持在载置台部件上，但在例如3.0mm以上比较厚的情况下，因为基板自身产生弯曲，所以仅由空气的吸引力存在难以充分地将该基板吸附·保持(固定)在载置台部件上的不利情况。

因此，需要能够辅助性地夹住基板的夹具装置，但印刷线路基板如上所述因为厚度不同，所以不需要夹具装置总是安装在载置台部件上，反而希望夹具装置对于载置台部件可装卸。

因此，本发明的目的在于提供一种对于载置台可装卸、且即使是具有产生弯曲的厚度的工件(处理对象物)仍能够可靠地固定在该载置台上的夹具装置及具备该夹具装置的成像装置。

本发明的第一方式的夹具装置的特征在于，具备：基体，其载置板状的工件，并可装卸地安装在载置台上；和夹具部，其设置在所述基体上，并夹紧所述工件的边缘端部；其中，在所述基体上穿透设置有使该基体上面侧与所述载置台侧之间连通的多个连通孔。

并且，本发明的第二方式的夹具装置的特征在于，在本发明的第一方式的夹具装置中，所述连通孔的至少一部分与在所述载置台上设置的多个吸附孔的至少一部分的配置相同。

根据本发明的第一、第二方式，因为设有夹具部的基体可相对于载置台装卸，所以能够相对于载置台可装卸夹具部，并且，因为在载置工件的基体上穿透设置有多个与载置台的吸附孔连通的连通孔，所以即使是产生弯曲的较厚的工件仍能够经由基体可靠地固定在载置台上。此外，因为不需在载置台上进行工件的夹紧操作(在基体上进行工件的夹紧操作即可)，所以能够容易地进行夹紧操作。

此外，本发明的第三方式的夹具装置的特征在于，在本发明第一或第二方式的夹具装置中，所述夹具部具有相对于所述基体的一个边各自设置多个的夹具部件。

根据本发明的第三方式，即使变更工件的尺寸，仍能够柔性应对。

此外，本发明的第四方式的夹具装置的特征在于，在本发明的第一方式至第三方式中的任一种方式的夹具装置中，所述夹具部具有：引导部，其设置在所述基体上，并形成有防脱部；夹具部件，其穿透设置有所述引导部游嵌的安装孔，并形成有与所述边缘端部抵接的抵接部；卡止部件，其设置在所述夹具部件上，并与所述防脱部卡合，使该夹具部件不能从所述引导部脱落；支承部，其不可脱落地插通于在所述夹具部件的与所述抵接部相反侧的基部上穿透设置的贯通孔中；推压部件，其插嵌在所述支承部上，并向下方推压该支承部；以及设置在所述基体上并支承所述支承部的支承部。