[发明专利]激光加热装置及激光加热方法

权利要求书

1.一种激光加热装置，其特征在于，具有：

射出向被加热对象物体照射的激光的激光射出部；

生成根据用受光面受光的红外线的光谱辐射亮度的累计值的信号的红外线传感器；

接受从所述被加热对象物体及其周边部辐射或反射的光，并将除了所述激光的波长的光以外的红外线向所述红外线传感器的受光面引导的光学系统；

预先存储利用所述红外线传感器生成的信号电平与所述被加热对象物体的实测温度的校准值的关系式的存储部；以及

根据利用所述红外线传感器生成的信号及所述关系式，算出所述被加热对象物体的温度的温度测定部。

2.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

所述激光射出部射出1.6μm以下波长的激光。

3.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

所述红外线传感器在1.2μm以上的波长时的灵敏度为峰值。

4.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

所述光学系统将所述激光波长以上的长波长的红外线，向所述红外线传感器的受光面引导。

5.如权利要求2所述的激光加热装置，其特征在于，

所述光学系统仅透过特定波长范围的红外线。

6.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

还具有拍摄来自所述被加热对象物体及其周边部的可见光的摄像装置。

7.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

设置规定进行温度测定的区域的孔。

8.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

所述红外线传感器对于1.2μm以上的波长具有10％以上的相对灵敏度，生成根据用受光面受光的红外线的10^-5W/(cm²·sr·μm)以上的光谱辐射亮度的累计值的信号。

9.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

所述红外线传感器是InGaAsPIN光电二极管。

10.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

加工点的激光照射范围形成点状。

11.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

还具有使加工面的激光照射范围形成为长方形或椭圆形用的光学系统。

12.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

还具有至少1个以上的扫描反射镜，所述扫描反射镜用来将从所述激光射出部射出的所述激光进行反射，对加工面将所述激光进行线扫描照射或两维扫描照射，使加工面的激光照射范围形成为长方形或椭圆形。

13.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

所述激光射出部具有射出所述激光的2个以上的激光二极管，

还具有光学系统，所述光学系统用来对从所述各激光二极管射出的所述各激光抑制FAST方向的发散，利用抑制了该发散的所述各激光，使加工面的激光照射范围形成为长方形或椭圆形。

14.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

所述激光射出部具有：

射出所述激光的2个以上的激光二极管；

对从所述各激光二极管射出的所述各激光抑制FAST方向的发散用的透镜；以及

与所述透镜接合，并能够调整所述透镜相对于所述各激光二极管的激光射出端面的位置的调整机构，

利用来自所述透镜的所述各激光，使加工面的激光照射范围形成为长方形或椭圆形。

15.如权利要求1所述的激光加热装置，其特征在于，

还具有控制部，若所述红外线传感器的输出信号电平的变化量达到设定变化量，则所述控制部使所述激光射出部停止射出所述激光，或者以规定的激光功率断续地射出所述激光。