[发明专利]压电谐振器及其制造方法

权利要求书

1.一种具有设置于压电基板的两个主表面上的振动电极的压电谐振器，所述 压电谐振器生成陷获于所述两个振动电极之间的振动，

其中所述压电基板具有固定厚度，并且其频率常数在一表面方向上具有梯度， 以及

其中设置于所述压电基板的所述主表面的至少之一上的所述振动电极被形成 为具有梯度厚度，从而所述厚度随着所述压电基板的所述频率常数的增加而递增。

2.如权利要求1所述的压电谐振器，其特征在于，具有梯度厚度的振动电极 形成于所述压电基板的所述两个主表面上。

3.如权利要求1所述的压电谐振器，其特征在于，设置于所述压电基板的所 述主表面的至少之一上的所述振动电极具有叠层结构，包括具有固定厚度的下电极 和设置于所述下电极上的上电极，以及

其中所述上电极具有梯度厚度。

4.如权利要求1所述的压电谐振器，其特征在于，设置于所述压电基板的所 述两个主表面上的所述振动电极具有叠层结构，包括具有固定厚度的下电极和设置 于所述下电极上的上电极，以及

其中所述上电极具有梯度厚度。

5.如权利要求1到4的任一项所述的压电谐振器，其特征在于，具有梯度厚 度的振动电极设置于所述压电基板的所述两个主表面上，并且t1-t2是各个所述振 动电极的最厚部分与最薄部分之间的厚度差，且L是各个所述振动电极的长度， 则各个所述振动电极的所述厚度梯度比(t1-t2)/L为0.05到0.20。

6.一种压电谐振器的制造方法，包括以下步骤：

制备用作极化母基板的压电基板，所述压电基板具有固定厚度，其频率常数 在实际应用中在其中心处固定或大致固定，并且在周边处向着外周边递增；

在用作所述母基板的所述压电基板的整个两个主表面上形成电极，从而设置 于所述压电基板的所述主表面的至少之一上的所述电极的厚度在其所述中心处固 定，并且在其所述周边随着所述压电基板的频率常数的增加而向着所述外周边递 增；

蚀刻所述电极以形成彼此相对的各个振动电极；以及

将用作所述母基板的所述压电基板切削成具有所述振动电极的各个段，由此 获得生成陷获于所述两个振动电极之间的振动的压电谐振器。

7.如权利要求6所述的压电谐振器的制造方法，其特征在于，具有梯度厚度 的电极形成于用作所述母基板的所述压电基板的所述两个主表面上。

8.如权利要求6所述的压电谐振器的制造方法，其特征在于，设置于用作所 述母基板的所述压电基板的所述主表面的至少之一上的所述电极具有叠层结构，包 括具有固定厚度的下电极和设置于所述下电极上的上电极，以及

其中所述上电极具有梯度厚度。

9.如权利要求8所述的压电谐振器的制造方法，其特征在于，用作所述母基 板的所述压电基板使用其间具有预定间隙地覆盖所述压电基板的所述中心、同时使 所述压电基板的所述周边保持敞开的掩模来进行溅镀，由此形成具有所述梯度厚度 的所述上电极。

10.如权利要求6到9的任一项所述的压电谐振器的制造方法，其特征在于， 具有梯度厚度的振动电极设置于所述压电基板的所述两个主表面上，并且t1-t2是 各个所述振动电极的最厚部分与最薄部分之间的厚度差，且L是各个所述振动电 极的长度，则各个所述振动电极的所述厚度梯度比(t1-t2)/L为0.05到0.20。