[发明专利]光源装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种光源装置，其具备出射规定波长的光的气体放电管，可用作分析装置或半导体检查装置等的光源。

背景技术

目前，在分析装置和半导体检查装置等的技术领域中，已知有如例如专利文献1和2记载的光源装置。这些专利文献1和2中记载的光源装置，具备容纳出射紫外光的重氢灯(气体放电管)的灯容器，该灯容器被容纳在光源装置的壳体中。例如在专利文献1记载的光源装置中，灯箱(灯容器)经由绝热部件而固定在壳体中。由此，防止从壳体向灯箱的传热，实现出射亮度的稳定化。此外，在专利文献2的分析装置(光源装置)中，在灯容器与壳体之间配置有绝热材料，借此防止在气体放电管中产生的热给测定带来不好的影响。

专利文献1：日本特开2000-315417号公报

专利文献2：日本特开平11-344435号公报

发明内容

发明人对现有的光源装置进行了研究，结果发现了以下的问题。即，被容纳在灯容器内的气体放电管容易受到温度变化的影响。特别是，对于专利文献1记载的光源装置而言，气体放电管的芯柱露出于灯容器外，因此气体放电管会受到灯容器外的温度变化的影响，其结果是，可能会使亮度不稳定。

此外，近年来对光源装置提出了小型化的要求，此时，在壳体内靠近配置灯容器与其它部件。另一方面，这样的装置的小型化使得气体放电管的交换等的保养操作变得困难。

本发明是为了解决如上所述的问题而完成的，目的在于提供一种光源装置，其具备可以使气体放电管的亮度稳定化，同时使气体放电管的保养操作容易的结构。

本发明的光源装置具备产生规定波长的光的气体放电管、容纳该气体放电管的灯容器、以及在表面固定有该灯容器的基台。上述灯容器具备灯固定部、光出射部、绝热部件和第一拆装结构。灯固定部构成灯容器的外围的一部分。光出射部使来自被容纳的气体放电管的光向灯容器外通过。绝热部件与气体放电管一起被容纳在灯容器内。此外，该绝热部件配置在该气体放电管与该灯固定部之间，以使得气体放电管被固定在灯固定部的内侧面的规定位置上。并且，第一拆装结构使灯固定部(气体放电管经由绝热部件而固定)相对于与该灯固定部一起构成灯容器的外围的一部分的其余部分，在该气体放电管被固定的状态下能够拆装。

如上所述，本发明的光源装置具有，在灯容器内固定有气体放电管，并且在气体放电管与构成灯容器的灯固定部之间配置有绝热部件的结构。通过这样的结构，相比于绝热部件被配置在灯容器外、并且气体放电管与灯容器相接触的现有的光源装置，减少了灯容器与气体放电管之间的传热。其结果是，该光源装置有效地降低了由灯容器外的温度变化引起的对气体放电管的影响。此外，利用第一拆装结构，使灯固定部相对于构成灯容器的外围的一部分的其余部分，以固定气体放电管的状态下能够拆装。此时，在灯固定部从灯容器的其余部分拆卸的同时，固定在该灯固定部的气体放电管也从该其余部分分离。其结果是，去除了周围的成为障碍的部分，可以简便地进行相对于气体放电管的灯固定部的拆装，气体放电管的保养操作变得容易。

在这里，作为进行上述保养作用方面优选的结构，具体而言，优选灯容器具有箱型形状。具体而言，灯容器的箱型形状通过固定在基台上的灯容器基板、灯固定板、第一壁面板、第二壁面板限定。灯固定板沿着与灯容器基板大致垂直的方向延伸，气体放电管通过绝热部件固定。第一壁面板夹着气体放电管而与灯固定板相对配置。第二壁面板夹着气体放电管而与灯容器基板相对配置。此时，灯固定部由灯固定板和第二壁面板构成。此外，第一拆装结构使得灯固定部，相对于灯容器基板和第一壁面板，在气体放电管通过绝热部件被固定的状态下，沿着与该灯容器基板大致垂直的方向能够拆装。

此外，在本发明的光源装置中，灯容器也可以进一步具备互相相对的第三壁面板和第二拆装结构。此时，一对第三壁面板与第二壁面板和灯固定板大致垂直，夹着气体放电管而互相相对地配置。此外，第二拆装结构使一对第三壁面板相对于第二壁面板和灯固定板能够拆装。

根据如上所述的结构，在气体放电管被固定的状态下拆卸灯固定板时，气体放电管的交换操作等的保养操作能够更容易地进行。另外，端窗型气体放电管固定在灯固定板上时，光出射部只要是设置在第一壁面板上的结构即可。另外，当侧窗型的气体放电管固定在灯固定板上时，光出射部也可以为设置在第三壁面板上的结构。

此外，本发明的光源装置也可以进一步具备使来自气体放电管的光通过的透镜。此时，透镜也可以保持在设置在灯容器中的光出射部上。利用这样的结构，气体放电管相对于透镜的定位变得更容易。