[发明专利]用于群集工具的安全通用配置软件

说明书

背景技术

等离子体处理工具长期被用于处理晶片和其他小型器件(如平板、纳米机器等)。群集工具(cluster tool)，代表等离子体处理工具的变体，已经被广泛应用。在一个群集工具中，多个处理室被聚集在一个或者多个传递模块的周围。对于一个或多个特定过程，每个处理室是可以配置的。通过将半导体衬底从处理室移动到群集工具的处理室，制造者可以在相当短时间内使衬底经受多个过程以及多个处理配方。在制造环境中采用群集工具的好处之一是产量可得到提高。

为了便于论述，图1示出了群集工具100，它代表典型的群集工具的高级的、简化逻辑表示。群集工具100包括前端102和后端104。前端102可被看作群集工具100的一部分，其处于大气压下，且衬底通过其放入或移出。后端104包括处理衬底所需的实际处理模块。

更具体地，图1中的前端102包括多个端口110、112和114，其代表用于将衬底输入群集工具100或从群集工具100卸出的端口。衬底接着进入气锁120和122中的一个，气锁维持后端104和前端102之间的压差。然后衬底从气锁120和122被传送到一个公共传递模块(TM)130，该模块在衬底处理模块(PM)140、142、144和146中移来移去时作为一个公共传递点。每个处理模块被配置为使用特定配方执行一个或多个特定的处理。例如可以对处理模块进行配置以用于多晶硅蚀刻，可将另一个处理模块配置成用于氮化物沉积，同一群集工具中的另一个处理模块可被配置成用于金属蚀刻。群集工具100可以包括图1中没有示出的其他模块(如大气处理模块或者APM)以及其他子系统。由于群集工具中这些以及其他主要的子系统对于本领域技术人员是熟知的，因此这里就不列出或详细论述主要的子系统了。

一个群集工具可以与其他的群集工具在主要子系统的数量上(如处理模块的数量以及/或者类型)有所区别。而且，例如，即使两个群集工具具有相同类型的相同数量的处理模块，这两个群集工具也仍然会由于构成这两个群集工具的子系统和子模块不同而存在区别。例如，两个金属蚀刻处理模块可以有不同的质量流控制器或者真空泵。

为了精心制作，群集工具100的制造商，如加拿大Fremont的Lam研究公司，通常利用来自许多制造群集工具的第三方的子系统和部件。实际上，由于这允许公司集中他们的精力，而将他们感兴趣的领域或专长以外的任务委托给其他公司，因此这种惯例在半导体处理设备领域中是标准的。

因此，使用来自不同供货商的不同部件和子系统来制造群集工具。关于要将哪些部件或者哪些子系统并入给定的群集工具中的决定，是一个复杂的决定过程，要考虑经济、定价策略、技术能力、变化的技术、客户要求、竞争定位以及/或者其他因素。而且，通常要每月或者每季度用一个或多个新的部件更新群集工具。这种因素，与不同客户要求结合，导致基本的相似性，即制造商当前发货的群集工具在某些方面可能与先前由该制造商所发货的所有其他群集工具有差别。然而，存在对所有群集工具的一般要求：需要利用合适的配置软件和/或者配置文件来配置群集工具以供使用。由于大多数子系统和部件都是电子控制的(所有现代硬件通常就是这样)，因此需要配置单个部件/子系统以及需要在组合的群集工具中配置部件/子系统，使之一起工作。

传统上，每个群集工具都配备有自己的配置软件，这种软件是为构成组合的群集工具的特定子系统和部件而定制编码的。然而，定制编码既耗时又昂贵。与定制编码相关的延迟和费用不仅会在起初的购买阶段，而且会在以新的子系统和/或部件更新群集工具时的每个更新周期影响使用者。随着时间的过去，需要维护群集工具的不同版本的配置软件程序，这对于群集工具的制造商同样对于用户来说都成为负担。对某些制造商，简直需要支持数百个不同版本的群集工具配置软件已经成为一个问题。

此处本发明人已经认识到，如果可以创建一个通用的配置工具，则群集工具的制造商和/或用户将能够以较少的时间延迟和费用来配置和支持群集工具。此外，此处本发明人已经认识到，也可以采用适当设计的配置工具来防止在给定的群集工具中使用未授权部件/子系统，可以基于授权的配置灵活度支持不同定价结构，可以用来支持群集工具开发中的努力以及/或者可用于仿真。本申请致力于这样一种改进的群集工具配置工具。

发明内容

根据本发明的一个方面，提供了通用配置工具(UCT)，它允许群集工具的制造商和用户利用相同的软件配置不同群集工具。该通用配置工具有利地将制造商和用户从在安装和/或更新群集工具时不得不使用不同的/定制编码配置软件中解脱出来。