[发明专利]用于微柱的壳体

权利要求书

1.一种在微柱中使用的壳体，该微柱包括电子发射体、偏转器和透镜，所述壳体包括：

电子发射体保持器，在该电子发射体保持器中插入所述电子发射体；

保持器底座，在该保持器底座中插入所述电子发射体保持器；以及

与所述保持器底座连接的柱底座，

其中单独地装配所述电子发射体保持器、所述保持器底座和所述柱底座。

2.根据权利要求1所述的用于微柱的壳体，其中，所述透镜被插入到透镜板中，并且所述透镜板可拆卸地与其他组件连接，以使得所述透镜不与其他组件直接接触。

3.根据权利要求1或2所述的用于微柱的壳体，其中，所述电子发射体保持器包括用于将所述电子发射体插入到其中的中空部分，其中所述保持器底座包括用于与所述透镜连接的底面，并且

其中，所述柱底座包括相对于其中心径向形成的用于将所述偏转器插入到其中的通孔，以及形成在其内周的用于将所述透镜插入到其中的台阶部。

4.根据权利要求1到3中的任意一项所述的用于微柱的壳体，其中，所述电子发射体保持器和保持器底座分别还包括彼此相对应的螺纹，或者所述保持器底座具有径向形成的多个塞孔，从而可以沿X轴、Y轴和Z轴方向在所述保持器底座的内部对所述电子发射体保持器进行对准。

5.根据权利要求1到4中的任意一项所述的用于微柱的壳体，其中，所述透镜板和保持器底座分别具有沿径向形成的用于所述透镜的布线的孔或槽，并且所述柱底座包括垂直形成的用于所述透镜和所述偏转器的布线的保护槽或保护孔。

6.根据权利要求1到5中的任意一项所述的用于微柱的壳体，其中，所述保持器底座包括沿径向形成在其上的多个塞孔，从而可以通过插入到所述塞孔中的螺栓和凹头固定螺钉在X轴和Y轴方向上在所述电子发射体保持器与所述保持器底座之间对所述电子发射体进行对准和固定。