[发明专利]加工设备直接装载

权利要求书

1.一种用于将容纳至少一个物品的容器送至加工设备的系统，包括：

装载端口，具有：

带开口的框架；

适于接纳容器的支撑结构；

驱动装置，用于使该支撑结构大致竖直地在第一高度和第二高度之间移动；

传送装置，用于大致沿容器输送平面可移动地支撑该容器；

其中，当该支撑结构位于该第二高度时，随该传送装置移动的容器不受阻碍地在该支撑结构的上方移动。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该装载端口还包括门，该门适于在防止物品穿过该开口的关闭位置和允许物品经过该开口的打开位置之间运动。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该支撑结构包括适于使容器大致水平移动的容器前移组件。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该支撑结构适于容纳用于输送直径在150毫米至500毫米之间的晶圆的容器。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该支撑结构适于容纳用于输送平板显示器的容器。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该驱动装置包括：

固定在该支撑结构上的臂；和

用于使该臂竖直移动的驱动组件。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，该传送装置包括：

第一轨道；和

与该第一轨道间隔开的第二轨道；

其中，经过该装载端口的第一轨道部分具有允许该臂不受阻碍地穿过所述第一轨道的至少一部分的结构。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该传送装置包括：

具有上表面的第一轨道；和

与该第一轨道间隔开的第二轨道。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，该驱动装置包括可竖直调整的臂，该臂的远端被固定在该支撑结构上。

10.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该传送装置包括皮带传送机。

11.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该传送装置包括轨道和多个辊，每个辊可转动地固定在该轨道上，所述辊中的每一个与每个其它辊间隔开并且伸出到该轨道外。

12.根据权利要求11所述的系统，其特征在于，该支撑结构包括至少两个指，所述至少两个指相互分隔开，从而当该支撑结构位于该第二高度时，每个所述指落在相邻的辊之间。