[发明专利]为测量系统确定队列匹配问题和根本原因要点

权利要求书

1.一种确定正在测试的测量系统(MSUT)是否匹配包括至少一个其它测量系统的队列的方法，该方法包括如下步骤：

基于包括人工制品的MSUT测值与基准测量系统(BMS)对该人工制品的基准测值之间的斜率引起的偏移偏差(SISOffset)、以及对MSUT和BMS进行比较的线性回归分析的非线性(σ_{non-linearity})的参数组，来计算工具匹配精度(s1)，其中计算步骤(s1)将所述斜率引起的偏移偏差定义为：

SISoffset＝υ(1-β_MSUT)，

其中，SISoffset是斜率引起的偏移偏差，υ是用户可选择的过程窗口大小或数据范围的分数，而β_MSUT是对MSUT和BMS进行比较的线性回归分析的斜率；以及

确定所述工具匹配精度是否满足匹配阈值(s2)，其中，在满足所述匹配阈值的情况下，视为所述MSUT是匹配的。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述参数组还包括：

对MSUT和BMS进行比较的线性回归分析的斜率，

MSUT的精度，

人工制品的MSUT测值与BMS对该人工制品的基准测值之间的平均偏差，

人工制品的基准测值和该人工制品的队列平均测值之间的BMS平均偏差，以及

人工制品的基准测值和该人工制品的队列平均测值之间的、BMS斜率引起的偏差。

3.如权利要求2所述的方法，其中，计算步骤(s1)将所述工具匹配精度定义为：

TMP=3βMSUT2σMSUT2+(offset-offsetBMS)2(SISoffset-SISoffsetBMS)2+σnon-linearity2,]]>

其中，TMP是工具匹配精度，β_MSUT是线性回归分析的斜率，σ_MSUT是MSUT的精度，offset是平均偏差，offset_BMS是BMS平均偏差，SISoffset是斜率引起的偏移偏差，SISoffset_BMS是BMS偏移引起的偏差，而σ_{non-linearity}是非线性。

4.如权利要求1所述的方法，其中，在所述队列仅仅包括一个其它测量系统时，所述参数组还包括：

对MSUT和BMS进行比较的线性回归分析的斜率，

MSUT的精度，以及

人工制品的MSUT测值与BMS对该人工制品的基准测值之间的平均偏差。