[发明专利]自动化产能控制系统及其操作方法

权利要求书

1.一种系统，包含：

配置成自多个工艺工具(110，120，130)接收工艺信息的接口(101)；以及

产能控制单元(102)，该产能控制单元连接到该接口，并且配置成为该多个工艺工具(110，120，130)的每一个工艺工具自动地决定与产能相关的性能特性。

2.如权利要求1所述的系统，其中该产能控制单元(102)进一步配置成识别具有超出指定性能范围的，被决定的性能特性的显著性的工艺工具。

3.如权利要求1所述的系统，其中所述工艺信息包含与该多个工艺工具(110，120，130)中的至少一个工艺工具的工艺室处理时间、工艺室闲置时间、基材送料机处理时间及基材送料机闲置时间的至少其中之一相关的特定工具信息。

4.如权利要求1所述的系统，其中该接口进一步配置成从制造执行系统(140)接收工艺数据，而该工艺数据与该多个工艺工具(110，120，130)中的至少一个工艺工具有关。

5.如权利要求2所述的系统，其中该产能控制单元(102)包含统计工艺管制部分，该统计工艺管制部分配置成根据所述被决定的性能特性而识别具有显著性的该工艺工具。

6.如权利要求5所述的系统，其中该统计工艺管制部分具有在该部分中实施的管制图，用以指定所述性能特性中的至少一个性能特性的有效范围。

7.如权利要求6所述的系统，其中该管制图配置成界定对该至少一个性能特性的失控状况。

8.如权利要求7所述的系统，其中该至少一个性能特性代表该多个工艺工具(110，120，130)中的一个或多个工艺工具的至少一个实体的处理时间。

9.如权利要求8所述的系统，其中该至少一个性能特性代表由该多个工艺工具(110，120，130)中的至少一个工艺工具处理的基材的整体处理时间。

10.如权利要求5所述的系统，进一步包含工具仿真器部分，该工具仿真器部分配置成提供仿真结果，该仿真结果代表对于指定工具配置的该多个工艺工具(110，120，130)中的一个或多个工艺工具的至少一个实体的理想行为。

11.如权利要求10所述的系统，其中该统计工艺管制部分配置成接收所述仿真结果，并根据所述仿真结果而识别具有显著性的该工艺工具。

12.一种方法，包含下列步骤：

通过产能控制单元(102)从用于制造工艺线的多个工艺工具(110，120，130)接收工艺信息；以及

根据所述工艺信息，而为该多个工艺工具(110，120，130)的每一个工艺工具决定与产能相关的性能特性。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述工具信息包含与该多个工艺工具(110，120，130)中的至少一个工艺工具的工艺室处理时间、工艺室闲置时间、基材送料机处理时间及基材送料机闲置时间的至少其中之一相关的特定工具信息。

14.如权利要求12所述的方法，进一步包含从制造执行系统接收工艺数据，该工艺数据与该多个工艺工具(110，120，130)中的至少一个工艺工具有关。

15.如权利要求14所述的方法，其中将至少对一预定制造时间间隔的所有工具活动的数据，提供给该产能控制单元(102)，以便增强所述性能特性的统计显著性。

16.如权利要求12所述的方法，进一步包含，根据所述性能特性而执行对该多个工艺工具(110，120，130)的控制。