[发明专利]容积流体输送系统中的流体状态的控制

权利要求书

1.一种用于控制容积流体分配系统中的流体的压力的方法，该分配系统具有用于向供给管线供给流体的第一容器和第二容器，用于向第一和第二容器供给惰性气体的惰性气体源，设置在供给管线中的控制器和传感器，该方法包括以下步骤：

在控制器接收来自传感器的控制信号；

开始第一容器的分配循环，包括以下步骤：

根据控制信号和位于第二容器的第一液位和第二液位之间的流体的高差

压力确定第一信号；基于第一信号向第一容器中的流体施加第一压力；和将流体从第一容器的第一液位分配到第二液位；和

开始第二容器的分配循环，包括以下步骤：

根据控制信号和位于第一容器的第一液位和第二液位之间的流体的高差压力确定第二信号；基于第二信号向第二容器中的流体施加第二压力；和将流体从第二容器的第一液位分配到第二液位。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，控制器独立于第二容器的分配循环地控制第一容器的分配循环。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，从第一容器分配流体的步骤包括响应控制信号来调整施加于第一容器的流体的惰性气体的压力，以保持供给管线中的预定压力。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，从第二容器分配流体的步骤包括响应控制信号来调整施加于第二容器的流体的惰性气体的压力，以保持供给管线中的预定压力。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括在将流体分配到第一容器的第二液位的步骤之后和在从第二容器分配流体的步骤过程中，从流体源充填第一容器的步骤。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，流体源供给加压流体。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，充填第一容器的步骤包括在第一容器中产生真空以从流体源吸入流体。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括在将流体分配到第二容器的第二液位的步骤之后和在从第一容器分配流体的步骤过程中，从流体源充填第二容器的步骤。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，流体源供给加压流体。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，充填第一容器的步骤包括在第一容器中产生真空以从流体源吸入流体。

11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，控制信号对应于供给管线中的流体的压力。

12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，控制信号对应于供给管线中的流体的流速。

13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，流体从半导体加工流体组群中挑选，该组群由酸、底基、溶剂和化学-机械抛光浆料组成。

14.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括利用电容式的、光学的或者数字的传感器检测第一容器中流体的第一液位和第二液位的步骤。

15.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括利用测力传感器检测第一容器中流体的第一液位和第二液位的步骤。

16.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括利用电容式的、光学的或者数字的传感器检测第二容器中流体的第一液位和第二液位的步骤。

17.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括利用测力传感器检测第二容器中流体的第一液位和第二液位的步骤。