[发明专利]容积流体分配系统中流体状态的控制

权利要求书

1.一种用来控制流体分配系统的供给管线中流体压力的装置，包括：

适于接收来自流体源的流体的泵；

用来测量容器中流体液位的液位传感器的容器，其中该容器适于从泵接收流体并将流体分配到供给管线；

用来将惰性气体供给到容器的惰性气源，其中该调节器适于调节惰性气体的压力；

设置在供给管线中的流体传感器；和

控制器，该控制器适于接收来自流体传感器的控制信号并将分配压力信号发送到调节器以调整惰性气体的压力，以便维持供给管线中流体的预定压力。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该液位传感器是测力传感器。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该液位传感器是从由电容、光学和数字传感器组成的传感器组中选出来的。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括从由电容、光学和数字传感器组成的传感器组中选出来的第二液位传感器，其中，该第二液位传感器适于测量容器中流体的第二液位。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该容器包括聚合材料。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，该聚合材料是从由过氟烷氧基、聚四氟乙烯、聚氯乙烯、聚偏二氟乙烯和聚乙烯组成的聚合物组中选出来的。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该流体是半导体加工流体。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，该半导体加工流体是从由酸、底基、化学-机械抛光浆料和溶剂组成的流体组中选出来的。

9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该调节器是电动-气动调节器。

10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括从调节器，用于调节惰性气体的压力并适于接收气动信号。

11.如权利要求9所述的装置，其特征在于，还包括从调节器，用于凋节惰性气体的压力并适于接收来自电动-气动调节器的气动信号。

12.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该泵包括具有一对电磁阀的外部梭阀，并且该控制器适于调整该电磁阀的循环速率。

13.如权利要求12所述的装置，其特征在于，该控制器适于接收来自通过供给管线供给的半导体加工工具的需求信号并基于该需求信号调整循环速率。

14.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该泵是包括一对膜片和外部梭阀的气动双膜片泵，该梭阀具有一对用于向该膜片供给高压气体的电磁阀。

15.如权利要求14所述的装置，其特征在于，还包括用于调节供给到该梭阀的高压气体的压力的高压气体调节器。

16.如权利要求15所述的装置，其特征在于，该控制器适于向高压调节器发送信号以调整该高压气体的压力，以便将流体维持在容器中的预定液位。

17.如权利要求15所述的装置，其特征在于，该控制器适于向调节器发送信号以便基于来自半导体加工工具的需求信号调整高压气体的压力。

18.如权利要求15所述的装置，其特征在于，还包括从调节器，适于接收来自高压调节器的气动信号并调节供给到梭阀的高压气体的压力。

19.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该泵包括具有一对电磁阀的内部梭阀，并且其中，该控制器适于调整供给到该电磁阀的高压气体的压力。

20.一种用来控制流体分配系统的供给管线中流体压力的装置，包括：

具有梭阀的泵，该梭阀包括一对电磁阀，其中该泵适于接收来自流体源的流体并将该流体供给到供给管线；

用来将高压气体供给到一对电磁阀的高压气源；

用于调节供给到该电磁阀的高压气体的压力的高压气体调节器；

设置在供给管线中的流体传感器；和

控制器，该控制器适于接收来自流体传感器的控制压力信号并维持供给管线中流体的预定压力。

21.根据权利要求20所述的装置，其特征在于，还包括设置在泵下游的供给管线中的脉冲阻尼器。

22.如权利要求20所述的装置，其特征在于，该脉冲阻尼器包括隔膜，并且其中，该高压气源将高压气体供给到该隔膜的顶部。