[发明专利]抛光蓝宝石表面的组合物和方法

权利要求书

1.一种抛光蓝宝石表面的方法，包括用抛光浆液研磨蓝宝石表面，其中该抛光浆液包含悬浮在具有碱性pH的含水介质中的研磨量的无机研磨材料，并包括溶解在该含水介质中的蓝宝石除去速度提高量的盐化合物。

2.权利要求1的方法，其中该无机研磨材料包含约1至约50重量％的该抛光浆液。

3.权利要求1的方法，其中该无机研磨材料具有约20至约200nm的平均粒径。

4.权利要求1的方法，其中该无机研磨材料具有约50至约150nm的平均粒径。

5.权利要求1的方法，其中该无机研磨材料是胶体二氧化硅。

6.权利要求1的方法，其中该含水介质具有至少约9的pH值。

7.权利要求1的方法，其中该含水介质具有约10至约11的pH值。

8.权利要求1的方法，其中该盐化合物是酸的碱金属或碱土金属盐。

9.权利要求8的方法，其中该碱金属盐是钠盐或锂盐。

10.权利要求8的方法，其中该碱土金属盐是钙盐。

11.权利要求8的方法，其中该酸是无机酸。

12.权利要求11的方法，其中该无机酸选自盐酸、氢溴酸、氢碘酸、硫酸和硝酸。

13.权利要求8的方法，其中该酸是有机酸。

14.权利要求13的方法，其中该有机酸是抗坏血酸、草酸、吡啶甲酸或其混合物。

15.权利要求1的方法，其中该盐化合物是铁盐。

16.权利要求1的方法，其中该盐化合物是铝盐。

17.权利要求1的方法，其中该盐化合物选自氯化锂、氯化钠、溴化钠、碘化钠、硫酸钠、氯化钙、氢氧化铁和其混合物。

18.权利要求1的方法，其中该盐化合物的蓝宝石除去速度提高量是足够提高蓝宝石除去速度至少约45％的量，相对于利用包含相同浓度的相同研磨材料但没有该盐化合物的抛光浆液、在相同抛光条件下得到的蓝宝石除去速度。

19.权利要求1的方法，其中基于该浆液总重量，该盐化合物的除去速度提高量是约0.1至约1.5重量％。

20.权利要求1的方法，其中该蓝宝石表面是蓝宝石C面表面。

21.权利要求1的方法，其中该蓝宝石表面是蓝宝石R面表面。

22.一种抛光蓝宝石表面的方法，包括用旋转抛光垫和抛光浆液研磨固定在旋转载体上的蓝宝石晶片表面，该抛光浆液包括悬浮在pH至少约9的含水介质中的研磨量的二氧化硅材料，并包括溶解在其中的蓝宝石除去速度提高量的盐化合物，以选定的向下的力将该垫的抛光表面压在该蓝宝石晶片表面上，在该垫的抛光表面和蓝宝石晶片表面之间具有至少一部分该抛光浆液。

23.权利要求22的方法，其中该盐化合物是无机酸的碱金属或碱土金属盐。

24.权利要求22的方法，其中该盐化合物是有机酸的碱金属或碱土金属盐。

25.权利要求22的方法，其中该二氧化硅材料是胶体二氧化硅。

26.权利要求22的方法，其中该二氧化硅材料具有约20至约200nm的平均粒径。

27.权利要求22的方法，其中该盐化合物是酸的碱金属或碱土金属盐。

28.权利要求22的方法，其中该浆液基本上不含表面活性剂。

29.权利要求22的方法，其中基于该浆液的总重量，该盐化合物的除去速度提高量是约0.1至约1.5重量％。