[发明专利]一种流经式等离子体装置的操作方法

权利要求书

1.一种操作流经式等离子体装置(1)以处理优选气体介质(3)的方法，所述等离子体装置(1)至少有一个等离子体发生部件(2)，优选的是串联的多个等离子体发生部件(2A，2B)，所述方法包括步骤：

至少确定所述处理的或未处理的介质(3)的一个特性(C)；

根据所述确定的特性(C)，至少改变所述等离子体装置(1)的一个操作设定(S)，其中所述的至少一种操作设定(S)的改变不是供给所述等离子体电极(6，7)的交流电流或电压的调制。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于，改变所述操作设定(S)包括一步骤，该步骤从这样的组中选择，所述组包括：调整所述等离子体装置(1)的电参数，用一种化合物补充所述优选气体介质(3)，使所述优选气体介质(3)经历放射，加热或冷却所述优选气体介质(3)，及其组合。

3.根据权利要求2的方法，其特征在于，用来补充优选气体介质的化合物(4)，它是从一组中选择的，该组由负电性的气体、正电性的气体、极性液体的蒸气，和其混和物组成。

4.根据权利要求2或权利要求3的方法，其特征在于，该放射是从一组中选择的，该组包括外部的等离子体源的光子、紫外光谱范围、电离放射和粒子束。

5.根据权利要求2至4之一的方法，其特征在于调整的电参数分别是电压和/或电流，和/或其频率，所述电压和/或电流供给所述装置的流经式通道中或者其附近的电传导电极(5)，所述电极不是产生等离子体(P)的尖端或对电极。

6.根据权利要求5的方法，其特征在于，电传导电极(5)是一个多孔的或者是网孔状的电极，优选地覆盖了流经式通道的整个横截面。

7.根据权利要求1至6之一的方法，其特征在于，所述介质(3)的所述特性(C)是从一组中选择，该组包括：温度、光谱的吸收和/或发射、潮湿度、滴的大小、粒子内容物、粒子大小、生物活性、所述介质(3)的成分或者所述成分的指标、所述介质(3)的温度或者其组合。

8.根据权利要求1至7之一的方法，其特征在于，通过开环控制进行所述的至少一个操作设定(S)的改变。

9.根据权利要求1至8之一的方法，其特征在于，通过闭环控制进行所述的至少一个操作设定(S)的改变。

10.根据权利要求9的方法，其特征在于，所述的处理的介质(3)的至少一个特性(C)优选是连续确定的，而且根据所述确定的结果，改变所述操作设定(S)。

11.根据权利要求10的方法，其特征在于，只要所述的至少一个确定的特性(C)保持在一个预定可接受阈值之上或者下，该装置的操作设定(S)保持不变。

12.根据权利要求1至11之一的方法，其特征在于确定所述介质(3)的特性(C)的步骤的执行是在第一个等离子体发生部件(2A)的上游和/或沿着所述介质(3)的两个等离子体发生部件(2A，2B)之间和/或最后一个等离子体发生部件(2B)的下游。

13.根据权利要求1至12之一的方法，其特征在于在该装置的流经式通道的不同部件中根据不同所述确定的特性，操作设定被不同地改变。

14.一种用来处理优选气体介质(3)的流经式等离子体装置(1)，其特征在于，包括用来确定所述处理的或未处理的介质(3)的特性(C)的装置，优选是传感器(9)，和根据所述确定的特性(C)用来改变所述装置(1)的至少一个操作设定(S)的装置，优选是控制器(10)，其中所述的改变至少一个操作设定(S)的装置，优选是控制器(10)，不是调制供给等离子体电极(6，7)的交流电流或者电压的控制器。

15.根据权利要求14的一种流经式等离子体装置，其特征在于所述用来改变至少一个操作设定(S)的装置，优选是所述控制器，是从一组中选择的，该组包括：用来调整所述等离子体装置电参数的装置，用化合物补充所述优选气体介质的装置，使所述优选气体介质(3)经历放射的装置，对所述优选气体介质(3)加热或者冷却的装置，和其组合。