[发明专利]单一的直角端块无效
| 申请号： | 200680007963.8 | 申请日： | 2006-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN101137764A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | K·德拉尔特;W·德博斯谢尔;J·德贝维尔;G·拉佩尔 | 申请（专利权）人： | 贝卡尔特先进涂层公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 郭小军 |
| 地址： | 比利*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单一 直角 | ||
1.一种端块，其用于在溅射装置中绕旋转轴可旋转地承载靶材，
所述端块具有安装法兰，以用于将所述端块安装到所述溅射装置上，所述端块还包括驱动装置、可旋转的电接触装置、支承装置、冷却剂密封装置和真空密封装置，其特征在于，
所述端块可安装成使所述旋转轴与所述法兰大致平行。
2.如权利要求1所述的端块，还包括连接装置，其用于附连和拆卸所述靶材。
3.如权利要求1或2所述的端块，其特征在于，所述旋转轴大致是竖直的。
4.如权利要求3所述的端块，其特征在于，所述端块安装在所述靶材之下。
5.如权利要求1或2所述的端块，其特征在于，所述旋转轴大致是水平的。
6.一种溅射装置，其包括用于封闭可抽空空间的壁、具有旋转轴的可旋转靶材和用于在所述靶材的一端可旋转地承载该靶材的端块，所述端块包括驱动装置、可旋转的电接触装置、支承装置、冷却剂密封装置和真空密封装置，其特征在于，
所述端块可安装到其中一个所述壁上，并且所述旋转轴大致与所述一个壁平行。
7.如权利要求6所述的溅射装置，其特征在于，所述端块还包括连接装置，其用于附连和拆卸所述靶材。
8.如权利要求6或7所述的溅射装置，其特征在于，所述靶材还由定心块保持定心，所述定心块安装在所述靶材的与由所述端块承载的那端相对的一端。
9.如权利要求6至8之一所述的溅射装置，其特征在于，所述靶材可大致竖直地安装。
10.如权利要求9所述的溅射装置，其特征在于，所述端块安装在所述靶材之下。
11.如权利要求6至8之一所述的溅射装置，其特征在于，所述靶材可大致水平地安装。
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