[发明专利]微小机械构造体

权利要求书

1.一种微小机械构造体，其具有：

基台；

在所述基台上形成的具有弹性的弹性支撑部；和

由所述弹性支撑部支撑，可以相对于所述基台进行相对移动的可动部，

所述可动部具有：

隔着第一空隙与所述基台相对的第一平板部；和

具有连结部，并通过所述连结部固定在所述第一平板部上的第二平板部。

2.如权利要求1所述的微小机械构造体，其中，

所述第二平板部的至少一部分具有光反射面。

3.如权利要求1所述的微小机械构造体，其中，

所述连结部是从所述第二平板部朝向所述第一平板部突出的垂直肋。

4.如权利要求3所述的微小机械构造体，其中，

所述弹性支撑部和所述第一平板部形成在同一平面上，且所述弹性支撑部与所述第一平坦部形成一体，

所述第二平板部具有覆盖所述弹性支撑部的至少一部分的形状，所述垂直肋不与所述弹性支撑部接触。

5.如权利要求4所述的微小机械构造体，其中，

所述垂直肋具有如下两个部分：一个部分具有第一高度，使得与所述第一平板部接触；另一个部分具有比所述第一高度小的第二高度，隔着第二空隙与所述弹性支撑部相对。

6.如权利要求5所述的微小机械构造体，其中，

所述第二空隙比所述第一空隙窄。

7.如权利要求1所述的微小机械构造体，其中，

所述第一平板部以及所述弹性支撑部由同一金属材料形成，具有同一厚度。

8.如权利要求1所述的微小机械构造体，其中，

所述第二平板部以及所述连结部由同一金属材料形成。

9.如权利要求1所述的微小机械构造体，其中，

所述第二平板部的面积在100μm²以上、1mm²以下。

10.如权利要求1所述的微小机械构造体，其中，

所述第一平板部以及所述第二平板部分别具有0.1μm以上、5μm以下的厚度，

所述连结部具有0.2μm以上、10μm以下的厚度。

11.如权利要求1所述的微小机械构造体，其中，

所述连结部由埋入在所述第一平板部上的牺牲层的槽中的金属材料形成。

12.如权利要求11所述的微小机械构造体，其中，

所述金属材料是铝、铜、镍、以及含有它们的至少一种金属的合金的任一种。

13.如权利要求1所述的微小机械构造体，其中，

还具有固定电极，该固定电极设置在所述基台上，隔着第三空隙与所述第一平板部相对，

所述第一平板部以及所述固定电极作为静电促动器发挥作用。

14.一种光拾取器，其具有：

放射光束的光源；

将所述光束聚焦在光盘上的物镜；

接受从所述光盘反射的光束并生成电信号的光检测器；和

对所述光束的像差进行修正的像差修正元件，其中，

所述像差修正元件具有：

基台；

在所述基台上形成的具有弹性的弹性支撑部；和

由所述弹性支撑部支撑，可以相对于所述基台进行相对移动的可动部，

所述可动部具有：

隔着第一空隙与所述基台相对的第一平板部；和

至少具有一个垂直肋，并通过所述垂直肋固定在所述第一平板部上的第二平板部。